[其他]測量固體表面速度變化的光干涉儀

無效

• 申請號: 85104475
• 申請日: 1985-06-07
• 公開（公告）號: CN85104475B
• 公開（公告）日: 1988-09-21
• 發明（設計）人: 張仲先
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01S17/58
• 分類號: G01S17/58
• 代理公司: 浙江大學專利代理事務所
• 代理人: 陳禎祥

1、一種測量固體表面速度變化的光干涉儀，由光源、起偏振器、干涉系統、光電探測器及信號檢測系統所組成，本發明特征是從光源〔1〕發出的光，經干涉系統〔3〕分成兩束，它們分別經長光路系統和短光路系統，並先后到達固體表面〔5〕，其間具有可視為固定的時間差值τ，此兩束光從表面〔5〕反射回干涉系統時，各自經過與入射光路長短相反的光路系統並到達光電探測器〔8〕。

2、根據權利要求1所述的干涉儀，其特征是由分光鏡〔14〕、偏振分光鏡〔18〕構成短光路系統。

3、根據權利要求1所述干涉儀，其特征是由分光鏡〔14〕光導纖維的光耦合系統〔15〕、〔17〕，光導纖維〔16〕和偏振分光鏡〔18〕構成長光路系統。

4、根據權利要求1所述的干涉儀，其特征在于應用偏振分光鏡〔18〕和十波片〔19〕，實現經短光路系統射向表面〔5〕的光束，反射回干涉系統時經長光路系統到達光電探測器〔8〕，而由長光路系統射出的光束經短光路系統到達光電探測器。

5、根據權利要求1所述的干涉儀，其特征在于光源〔1〕可采用普通單色光源或白光加干涉濾光片或激光器制作。