[其他]坐標(biāo)測量儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 85104875
• 申請日: 1985-06-26
• 公開（公告）號: CN85104875B
• 公開（公告）日: 1988-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 花岡浩;松宮貞行
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社三豐制作所
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利代理部
• 代理人: 曹廣生,辛哲生

本發(fā)明涉及的對象是坐標(biāo)測量儀器，尤其是針對一個可移動件的改進(jìn)，該可移動件用作移動發(fā)出檢測信號的檢測器，該檢測信號與在三度方向中要測量器工作有關(guān)。

到目前為止，眾所周知的一種坐標(biāo)測量儀，其中一個檢測器，譬如;一個接觸式信號探頭等等，是由一個可移動件支持，這在某種意義上，是能在三度方向移動的，當(dāng)檢測器與基座上的工作有關(guān)聯(lián)時，檢測器的位移量，在各軸向方向被檢測，為了測量和檢驗(yàn)等而處理這些檢測量，這種形式的測量儀已在很廣泛的領(lǐng)域使用。在上述過的坐標(biāo)測量儀的情況，就是一個稱作帶門框型支承的坐標(biāo)測量儀。

美國專利US、4，155，173是一種懸臂式坐標(biāo)測量儀，該測量儀的面板上設(shè)有兩個方形斷面的導(dǎo)向件，在導(dǎo)向件四周有氣動支承結(jié)構(gòu)，懸臂的一端支承在導(dǎo)向件上，檢測頭設(shè)在懸臂的另一端。

美國專利U、S、4，495，703也是一種坐標(biāo)測量儀，它有一門框型結(jié)構(gòu)，其上支承一檢測頭、門框型結(jié)構(gòu)靠設(shè)置在測量臺兩側(cè)邊的導(dǎo)軌導(dǎo)向。

日本公開特許公報JP昭-134226公開了一種空氣支承裝置，它包括四個支承板11～14。該對比文件中的發(fā)明是用槽將支承面分割，從而形成一個由許多小支承面構(gòu)成的組件，使較重的負(fù)載被較小的浮力值支承，可移動件克服降低后的摩擦力沿導(dǎo)向件移動。

圖1表示普通的門框型坐標(biāo)測量儀。在圖中，作為一個固定件的基座1頂端面是非常平滑的。一個要測量的工件（未示出）放在該頂端面上，該頂端面通過一個可移動件2支持一個檢測器3，如：一個接觸式信號探頭，并且檢測器3可以在三度方向移動。該可移動件2包含一個門框型支承4，該支承4跨過放在基座1上的工件。門框型支承4由支柱5、6和梁7構(gòu)成，兩支柱5、6放置在基座1的兩相外邊上，而梁7橫過支柱5和6裝設(shè)著。通過梁7支持的一個X軸滑塊8能在X方向移動，而X軸滑塊8支持一個可以沿Z軸方向移動的Z軸滑塊9。檢測器3固定到Z軸滑塊9的底端部分。支柱5可以在基座1上移動，支柱6是通過平放在Y軸向的一根導(dǎo)軌11導(dǎo)向。支柱5和6的底端構(gòu)成端底支承12和13，這兩端底支承是沿Y方向伸長的。因此，甚至門框型支承4沿Y方向移動時，門框型支承4的豎直狀態(tài)仍能保持穩(wěn)定。

如圖2所示，端底支承12在它的縱向兩端裝有兩個氣動支承裝置15。如圖3至5所示，這種氣動支承裝置15由一個空氣墊16構(gòu)成，該空氣墊16用底端支承12分開制成，一個安裝件17和作為送進(jìn)空氣的連接管嘴18構(gòu)成。為了把空氣墊16裝在帶凹槽21的底端支承12下，該空氣墊16形成在它的安裝表面的中心部位，并且在它的空氣流出表面22上，面對著基座1的空氣流出表面22裝有很多空氣流出孔23，每個流出孔23有一個很小的直徑（即大約0.2毫米或更小），這些孔23排列成檢測的形式，在空氣墊16內(nèi)設(shè)有與空氣流出孔23溝通的連接腔24，借此，壓縮空氣通過連接管嘴18引進(jìn)連接腔24，并且裝有相應(yīng)的空氣流出孔23。另外，在這些圖中，空氣流出孔23在平面上的分布密度是很稀的，而實(shí)際上空氣流出孔23的排列是很密的。

另一方面，安裝件17在空氣墊16的凹槽21內(nèi)，并且在安裝件17上表面的中心部位帶有坡口28，坡口是一個錐表面，該錐表面是為了支持插在底端支承12和安裝件17之間的一球體27。

此外，在底端支承13中，同上述結(jié)構(gòu)類似的氣動支承裝置15插在導(dǎo)軌11的頂端面和底端支承13之間，同時，在導(dǎo)軌11的兩側(cè)面和底端支承13之間，如圖6所示，這些氣動支承裝置15裝在底端支承13的縱向兩端，該底端支承13同底端支承12的情況類似（參見圖2）。

然而，就上述過的普通結(jié)構(gòu)而言，還存在下述缺陷：

（1）因?yàn)閮蓺鈩又С醒b置15，分別裝在底端支承12和13的縱向兩端，當(dāng)作為整個可移動件2的負(fù)荷W，通過支柱5作用在底端支支承12的中間部位，如圖7中所示，彎沉發(fā)生在Z方向，例如：這些波動在Z方向上傳給檢測頭3，其結(jié)果降低了檢測頭3在Z方向的精度度。

（2）氣動支承裝置15的空氣流出表面22的面積，是由負(fù)荷W和從空氣流出孔23流出的氣動壓力確定的，而空氣流出孔23的尺寸是予先給定的。然而，只有當(dāng)氣動支承裝置15，裝在底端支承12和13的縱向兩端，該空氣流出表面22，即底端支承的寬度方向的尺寸才會增加，如圖2所示，因此，在使用裝在同一基座1上的同一門框型支承4中，同筒型支承裝置（這種方法已不使用了）相比較，有較跨度被減小。當(dāng)測量儀器尺寸很大而增加負(fù)荷W時，這種情況更值得注意。