[其他]錯位場干涉儀無效
| 申請號: | 85105776 | 申請日: | 1985-07-31 |
| 公開(公告)號: | CN1003391B | 公開(公告)日: | 1989-02-22 |
| 發明(設計)人: | 王其祥 | 申請(專利權)人: | 華東工學院 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 江蘇省專利服務中心 | 代理人: | 沈根水 |
| 地址: | 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 錯位 干涉儀 | ||
【權利要求書】:
1、一種用于增強圖象結構特征的錯位場干涉儀。它的光學結構包括相干光源、成象物鏡、分束器和反射鏡。被相干光源照明的物場。經物鏡成象后,其象方光束被分束器分為兩束,構成干涉儀的兩臂,再經過反射系統又重新會合,相干疊加形成復合象場,其特征是干涉儀兩臂上的反射鏡,分別是由兩塊平面反射鏡按90°二面角放置的屋脊,屋脊的棱線,與分束器的分光膜平面平行;構成兩屋脊的反射鏡,各有一反射面與上述分光膜平面平行,調節屋脊的位置與結構參數,要以改變復合象場中兩象的錯位方向和錯位量。
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