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[其他]錯位場干涉儀無效

專利信息
申請號: 85105776 申請日: 1985-07-31
公開(公告)號: CN1003391B 公開(公告)日: 1989-02-22
發明(設計)人: 王其祥 申請(專利權)人: 華東工學院
主分類號: 分類號:
代理公司: 江蘇省專利服務中心 代理人: 沈根水
地址: 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 錯位 干涉儀
【權利要求書】:

1、一種用于增強圖象結構特征的錯位場干涉儀。它的光學結構包括相干光源、成象物鏡、分束器和反射鏡。被相干光源照明的物場。經物鏡成象后,其象方光束被分束器分為兩束,構成干涉儀的兩臂,再經過反射系統又重新會合,相干疊加形成復合象場,其特征是干涉儀兩臂上的反射鏡,分別是由兩塊平面反射鏡按90°二面角放置的屋脊,屋脊的棱線,與分束器的分光膜平面平行;構成兩屋脊的反射鏡,各有一反射面與上述分光膜平面平行,調節屋脊的位置與結構參數,要以改變復合象場中兩象的錯位方向和錯位量。

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