[其他]用于氣體分析器的多層膜干涉濾光器無效
| 申請號： | 85106181 | 申請日： | 1985-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN85106181B | 公開（公告）日： | 1988-06-22 |
| 發明（設計）人： | 石田正彥 | 申請（專利權）人： | 株式會社堀場制作所 |
| 主分類號： | G01N21/35 | 分類號： | G01N21/35;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 李強 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 氣體 分析器 多層 干涉 濾光 | ||
【權利要求書】：
1、用于氣體分析器中的多層膜干涉濾光器，它具有8μm附近的起始透過波長，其特征在于它包括疊置在Si基片的一個表面（切割面）上的兩組膜層和疊置在該基片的另一個表面（短切面）上的四組膜層，所述各組膜層由以Ge作高折射率材料并以ZnS作低折射率材料的交替多層膜構成。
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