[其他]端型多層干涉濾光器的制作方法無效
| 申請號: | 85106301 | 申請日: | 1985-08-21 |
| 公開(公告)號: | CN85106301B | 公開(公告)日: | 1988-12-21 |
| 發明(設計)人: | 山岸豐;石田正彥 | 申請(專利權)人: | 株式會社堀場制作所 |
| 主分類號: | C23C14/04 | 分類號: | C23C14/04;C23C14/24;G02B1/10;G02B5/28 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人: | 李強 |
| 地址: | 日本京都府*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多層 干涉 濾光 制作方法 | ||
【權利要求書】:
1、端型多層干涉濾光器的制作方法,其特征在于該端型多層濾光器是通過在阻止蒸發鍍敷材料被鍍敷在將要進行切割的襯底部分上的條件下,用真空蒸發法,把高折射率材料和低折射率材料交替地鍍敷在與多個具有所需要尺寸的窗口相對應的襯底部分上而制作出來的,上述窗口被設置在固定地設置于襯底之上的掩膜上。
2、如權利要求1所述的端型多層干涉濾光器制作方法,其特征在于設置在掩膜正面的窗口的四周設置有階形部分。
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