[其他]曝光光學設備中的調(diào)焦機構無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 85106384 | 申請日： | 1985-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN85106384A | 公開（公告）日： | 1987-03-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 河田俊 | 申請（專利權）人： | 小西六寫真工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | G03G15/04 | 分類號： | G03G15/04;G03G15/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 王彥斌,石小梅 |
| 地址： | 日本東京都新*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 光學 設備 中的 調(diào)焦 機構 | ||
【權利要求書】：
1、在狹縫式曝光光學設備中，第一個可動工作臺上裝有照明燈及一塊帶狹縫的平極，第二個可動工作臺上裝有及射鏡。在這種曝光光學設備中，其調(diào)焦機構的特征在于：呈環(huán)狀循環(huán)的鋼絲的一部分，被纏繞在調(diào)整螺釘上，而調(diào)整螺釘是裝在該設備的固定部分上的；此曝光光學設備的第一與第二個可動工作臺之間的距離，可以通過轉動及調(diào)節(jié)前述調(diào)整螺釘來進行調(diào)節(jié)。
2、根據(jù)權利要求1所述的調(diào)焦機構，其特征在于，前述調(diào)整螺釘是裸露在曝光光學設備外表面上的，而且可以從外部進行旋轉及調(diào)節(jié)。
3、根據(jù)權利要求1所述的調(diào)焦機構，其特征在于，能使上述鋼絲鎖定及松脫的鎖定螺釘，是裝在前述調(diào)整螺釘附近的。
4、根據(jù)權利要求1所述的調(diào)焦機構，其特征在于，上述鎖定螺釘是裸露在曝光光學設備的外表面上的，而且可以從外部將鋼絲鎖定及松脫。
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