[其他]碳化硅(SiC)二極管溫度傳感器無效
| 申請號: | 85109140 | 申請日: | 1985-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN85109140B | 公開(公告)日: | 1988-06-29 |
| 發明(設計)人: | 綦明剛;周嶅;邱莉;吳鐵;張詠紫;鄒小興 | 申請(專利權)人: | 湖北省襄樊市機電研究所;國家建材工業局建筑材料科學研究院玻璃科學研究所 |
| 主分類號: | H01L35/00 | 分類號: | H01L35/00;G01K7/02 |
| 代理公司: | 襄樊市專利事務所 | 代理人: | 孟景前,樊靈芬 |
| 地址: | 湖北省*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 碳化硅 sic 二極管 溫度傳感器 | ||
1、一種碳化硅二極管溫度傳感器,包括一個碳化硅PN結、鎢膜和金膜做復合膜電極,用兩段金絲做引線,鉑絲或鎳絲做后引線,氧化鋁瓷管做后引線絕緣固定子,其特征在于以P型碳化硅單晶做基底外延N型層時,同時使氮原子擴散到P型基底中去;或者以N型碳化硅單晶做基底時,外延的P型層厚度小于0.1毫米;整個PN結用一種微晶玻璃包封。
2、按照權利要求1所述的碳化硅二極管溫度傳感器,其特征在于PN結的P型層中氮原子摻雜是用純氮氣,在外延N型層的同時,由外延面和另一面同時擴散進入P型基底中去。
3、按照權利要求1所述的碳化硅二極管溫度傳感器,其特征在于包封PN結所用的微晶玻璃組份范圍(wt%)是:
ZnO25~55MgO2~7
B2O315~25BaO2~7
SiO28~27SnO21~3
Al2O33~15Cr2O30~1
最佳組份范圍(wt%)是:
ZnO30~50MgO4~5
B2O320BaO4~5
SiO210~25SnO22~3
Al2O35~12Cr2O30~1
4、按照權利要求1所述的碳化硅二極管溫度傳感器,其特征在于微晶玻璃的包封溫度范圍是650~800℃,最佳包封溫度范圍為650~750℃。
5、按照權利要求1所述的碳化硅二極管溫度傳感器,其特征在于微晶玻璃的包封時間范圍是1~60分鐘,最佳包封時間是5~40分鐘。
6、按照權利要求1所述的碳化硅二極管溫度傳感器,其特征在于微晶玻璃的包封氣氛為空氣。
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