[其他]旁軸氦氖雙頻激光器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 85200507
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN85200507U
• 公開（公告）日: 1986-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 俞成棟;鈕家汶;羨一民
• 申請（專利權(quán)）人: 機(jī)械工業(yè)部成都工具研究所
• 主分類號: H01S3/223
• 分類號: H01S3/223
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域：激光器

本實(shí)用新型內(nèi)容說明：

公知的氦氖雙頻激光器激光諧振腔腔長因材料膨脹系數(shù)較大，一般需要予熱30分鐘以上才能開始工作，而且長時間工作穩(wěn)定性差，工作中常出現(xiàn)跳模現(xiàn)象，使雙頻激光干涉儀不能連續(xù)穩(wěn)定工作，效率很低。由于壓電陶瓷元件位于激光腔內(nèi)，使該件加工困難。針對上述缺點(diǎn)，我們研制成功一種能克服上述缺點(diǎn)，而且制造工藝簡單的旁軸氦氖雙頻激光器。

附圖說明：本附圖為旁軸氦氖雙頻激光器結(jié)構(gòu)圖，其各另件名稱如下：

1——陽級?????????????2——氦氖氣體

3——陰級?????????????4——磁鐵

5——外殼?????????????6——放電毛細(xì)管

7——鏡片?????????????8——彈簧

9——玻璃球面定位片???10——中間帶孔玻璃墊片

11——球面高反射膜片??12——平面帶環(huán)形槽高反射膜片

13——壓電陶瓷環(huán)??????14——空心壓電陶瓷柱

15——帶孔鏡片

本實(shí)用新型的技術(shù)要點(diǎn)是，放電毛細(xì)管(6)采用零膨脹微晶玻璃材料，使激光器開機(jī)后能立即並能長時間連續(xù)穩(wěn)定地工作；將壓電陶瓷環(huán)(13)由激光腔內(nèi)移到激光腔外，使其加工簡單、確保精度。本實(shí)用新型的旁軸氦氖雙頻激光器由陽極(1)、氦氖氣體(2)、磁鐵(4)、外殼(5)、放電毛細(xì)管(6)、鏡片(7)、彈簧(8)、玻璃球面定位片(9)、中間帶孔玻璃墊片(10)、球面高反射膜片(11)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)、壓電陶瓷環(huán)(13)空心壓電陶瓷柱(14)、帶孔鏡片(15)組成。其中壓電陶瓷環(huán)(13)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)、空心壓電陶瓷柱(14)和帶孔鏡片(15)位于激光諧振腔外端部，與放電毛細(xì)管(6)同心並用膠連成一個整體。鏡片(7)用膠連結(jié)在外殼(5)的另一端。放電毛細(xì)管(6)、球面高反射膜片(11)、中間帶孔玻璃墊片(10)、玻璃球面定位片(9)、彈簧(8)位于外殼(5)內(nèi)，依靠彈簧(8)的彈力通過玻璃球面定位片(9)、中間帶孔玻璃墊片(10)使平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)的帶環(huán)形槽端面和球面高反射膜片(11)的端面分別與放電毛細(xì)管(6)的端面緊密貼合。陰極(3)置于外殼(5)的旁側(cè)，磁鐵(4)套裝在外殼(5)上；放電毛細(xì)管(6)內(nèi)徑為φ0.90～1.20毫米。外徑最好為φ20～30毫米，以確保其剛性，防止形變對激光諧振腔平行度的影響；放電毛細(xì)管(6)與外殼(5)之間的配合以滑配合為宜；由放電毛細(xì)管(6)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)、氦氖氣體(2)、及球面高反射膜片(11)形成激光諧振腔。該腔與激光器的外殼(5)為分離組合，這樣避免了激光器的外殼因受熱產(chǎn)生的變形對激光諧振腔的影響。盡管由于外殼(5)和放電毛細(xì)管(6)的膨脹系數(shù)不同而使用兩者在軸向有相對移動，但由于彈簧(8)的作用，始終將平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)和球面高反射膜片(11)緊緊地貼合在放電毛細(xì)管(6)的兩端；壓電陶瓷(13)、空心壓電陶瓷柱(14)、帶孔鏡片(15)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)和穩(wěn)頻電路構(gòu)成激光器穩(wěn)頻裝置。當(dāng)激光器發(fā)出的光偏離譜線中心時，PLZT(鋯鈦酸鋯鑭)接收的偏差信號由電器反饋系統(tǒng)反饋到壓電陶瓷環(huán)(13)上。由于電致伸縮效應(yīng)，使壓電陶瓷環(huán)(13)伸長或縮短，通過空心壓電陶瓷柱(14)迫使平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)的中間鍍膜區(qū)沿著激光諧振腔腔長方向作量的平行移動，以補(bǔ)償因受熱而引起的激光諧振腔腔長的變化，這就能達(dá)到氦氖雙頻激光器開機(jī)立即工作和長時間穩(wěn)定連續(xù)工作的目的。本實(shí)用新型的旁軸氦氖雙頻激光器的頻率穩(wěn)定性為1×10^-9，由將壓電陶瓷環(huán)(13)移到激光器腔外和陰極為旁軸結(jié)構(gòu)，降低了加工精度的要求，大大提高了合格率和加工效率，降低了成本。