[其他]激光器密封接頭

無效

• 申請號: 85201072
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN85201072U
• 公開（公告）日: 1986-01-08
• 發明（設計）人: 劉金綬;印義言;張翼翔;包振華;肖紅
• 申請（專利權）人: 南京工學院
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02
• 代理公司: 南京工學院專利事務所
• 代理人: 樓高潮

本發明屬激光技術領域

現有技術中，Xecl準分子激光電極引線與器壁(外殼)間的密封結構采用滑動密封，見圖4，(渡部俊太郎，《應用物理》1978、47、№6、560)，其缺點是工藝復雜，真空密封性較差。采用密封圈側擠密封結構，見圖5，工藝簡單，但密封性較差。直接用環氧等粘結劑膠封，雖工藝簡單，密封性良好，但不可拆。

本發明的目的是研制一種工藝簡單。裝拆方便，在高氣壓差下真空密封性好的用于準分子激光器的電極引線密封接頭和真空接頭。

本發明為達到上述目的，其特征在于采用盤片螺桿和密封圈等組成直接正向壓緊密封接頭。本發明的工作原理是通過螺桿的盤片和密封圈，用螺帽壓緊，密封圈和準分子激光器壁表面、螺桿的盤片表面之間直接壓緊，達到密封目的，因壓力大，在高氣壓差下仍保持良好密封。

本發明與現有準分子激光器電極引線接頭相比具有工藝簡單，裝拆方便和在高氣壓差下真空密封性好的優點，還可用于其它真空設備。

圖1是本發明的真空密封接頭的剖面圖

圖2是可接真空橡皮管的帶孔道盤片螺桿剖面圖。

圖3是可接金屬真空管道的帶孔道盤片螺桿的剖面圖。

圖4是滑動真空密封接頭的剖面圖。

圖5是密封圈側擠真空密封接頭的剖面圖。

本發明的真空密封接頭，其盤片螺桿(1)采用銅元由車床加工制成，也可用不銹鋼或鋼材表面鍍鎳加工而成。實施例1，內密封圈(3)為考慮準分子激光器工作氣體的腐蝕性，可采用氟橡膠或塑料王做成，外密封圈(2)可采用如氯丁橡膠做成，將外殼(5)加工成階梯形，然后將內層密封圈、盤片螺桿、外層密封圈(該層僅為增加密封可靠性)，金屬墊片、螺帽(4)相繼排列，另一端亦用螺帽，然后擰緊，顯然密封圈和器壁、盤片之間產生的正向緊密壓緊接觸，達到即使兩側存在高氣壓差下仍有優良真空密封性，(6)(7)為電極引線。實施例2，與橡皮管連接的盤片螺桿(8)，加工成帶孔道，可直接接上真空橡皮管(9)，作為真空管道接頭。實施例3，與金屬管道連接的盤片螺桿(13)，加工成帶孔道，通過密封圈(12)，壓緊螺帽(11)可與金屬管道(10)實現可拆連接，作為真空管道接頭。