[其他]帶有保護膜的硅拋光片與外延片

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 85203385
• 申請日: 1985-08-16
• 公開（公告）號: CN85203385U
• 公開（公告）日: 1986-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉玉嶺
• 申請（專利權(quán)）人: 河北工學(xué)院
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 天津市專利事務(wù)所
• 代理人: 李國茹

1、一種用于制造半導(dǎo)體器件的硅拋光片與外延片，其長期保存和運輸是用軟塑或紙袋分片包裝，或外部用硬塑盒、內(nèi)底聚丙烯刻槽、間隙立插式，高純密封包裝；本實用新型的特征是：在合格的硅拋光片與外延片的表面有一層用熱氧化方法或氣相淀積法等器件制備中的鈍化方法生長的保護膜，目的是取代硅拋光片與外延片長期保存和運輸用袋裝或盒裝的方法。

2、一種按照權(quán)利要求1所說的硅拋光片或外延片，其特征在于：保護膜的厚度為500以上。

3、一種按照權(quán)利要求1和2所說的硅拋光片與外延片，其特征在于：保護膜可以是有機物，也可以是無機物，如SiO₂、Al₂O₃、Si₃N₄和光刻膠、硅油等等。