[其他]氧化錫薄膜氣敏元件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 86102281
• 申請日: 1986-04-05
• 公開（公告）號: CN86102281A
• 公開（公告）日: 1987-10-14
• 發(fā)明（設計）人: 松本毅;岡田治;中村裕司
• 申請（專利權）人: 大阪瓦斯株式會社
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12;H01L49/00
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖春京

1、氧化錫薄膜氣敏元件的特征如下：

在氧化錫薄膜氣敏元件中，用CuK作為射線源對氣體檢測表面的單晶取向性和結晶性作X線衍射時，設最強衍射線強度為I₁，第二、第三、第四和第五強的衍射線強度分別為I₂、I₃、I₄和I₅，這時

(a)(211)面或者(110)面的線強度最強，I₂/I₁≤0.6，I₁的半值寬度大于0.58；或者

(b)I₁是(110)面或(101)面的線強度，I₂為(101)面或(110)面的線強度。I₂/I₁≥0.5，I₃/I₂＜0.6，I₁的半值寬度大于0.54；或者

(c)I₁是(110)面或者(211)面的線強度，I₂是(101)面或(110)面的線強度，I₂/I₁≥0.5，I₃/I₂＜0.6，I₁的半值寬度大于0.58；或者

(d)I₁、I₂、和I₃分別為(110)面、(101)面和(211)面的任何一面的線強度，I₃/I₁≥0.5，I₄/I₃＜0.6，I₁的半值寬度大于0.61；或者

(e)I₁、I₂、I₃和I₄分別為(110)面、(101)面、(211)面和(301)面中任一面的線強度，I₄/I₁≥0.5，I₅/I₄＜0.6，I₁的半值寬度大于0.73；或者

(f)I₁為(301)面的線強度，I₂/I₁≤0.6，I₁的半值寬度大于0.60；或者

(g)I₁為(211)面或(301)面的線強度，I₂為(301)面或(211)面的線強度，I₂/I₁≥0.5，I₃/I₂＜0.6，I₁的半值寬度大于0.3。