[其他]含有環狀氟化磺酸鹽表面活性劑蝕刻溶液

無效

• 申請號: 86103055
• 申請日: 1986-04-29
• 公開（公告）號: CN86103055A
• 公開（公告）日: 1986-11-26
• 發明（設計）人: 羅納德·詹姆斯·霍普金斯;伊萬·高爾·湯姆斯;哈羅德·約翰·基塔
• 申請（專利權）人: 阿蘭德公司
• 主分類號: C09K13/00
• 分類號: C09K13/00
• 代理公司: 上海專利事務所
• 代理人: 全永留

1、一種包含可溶性表面活性劑且阻止表面活性劑沉淀的蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液包括氟化銨和表面活性劑的一種水狀混合物，所說混合物含有氟化銨(NH₄F)13.5-45(重量)%以及具有以下結構式的氟化環烷烴磺酸鹽和(或)氟化環烯烴磺酸鹽25-2000PPm，

式中：n為小于等于6的一個數值，X可以是F、Cl、H、OH、SSO₄A、R或者可略去R，Y可以是F^-、Cl、H、OH^-、R或者可略去R、A可以是H⁺、NH⁺₄、Na⁺、K⁺、Li⁺、R⁺或者NR⁺₄，其中R為1-4個碳原子的烷基和(或)氟烷基及它們的混合物，其余為水。

2、如權利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液含有高達11（重量）%的氟化氫。

3、如權利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環類表面活性劑中“n”具有2-4數值。

4、如權利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環類表面活性劑是具有低金屬離子含量的銨鹽。

5、如權利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環烷烴或者環烯烴磺酸鹽是氟化環烷烴或者環烯烴磺酸。

6、如權利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的氟化環表面活性劑的存在量為200-5000ppm，并以干燥固體或者以極性水溶劑混合的溶液添加到蝕刻溶液中。

7、如權利要求1所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液含有高達11（重量）%的氟化氫、200-1000ppm的氟化環類表面活性劑以及減少腐蝕的稀釋劑。

8、如權利要求2所說的一種蝕刻溶液，其特征在于所說的溶液含有高達50（重量）%的用于降低腐蝕的稀釋劑，所說稀釋劑是由醋酸、乙二醇以及1-3個碳原子的醇組成的組中選擇的。

9、一種制備蝕刻溶液的工藝，其特征在于所說的工藝包括將49（重量）%的氟化氫水溶液和15-40（重量）%的氟化銨水溶液摻合，并添加200-5000ppm的有效的氟化環類表面活性劑。

10、如權利要求9所說的工藝，其特征在于所說的氟化銨水溶液含有大約30（重量）%的NH₄F。