[其他]三向坐標電容傳感測試裝置

無效

• 申請號: 86104058
• 申請日: 1986-06-06
• 公開（公告）號: CN1005216B
• 公開（公告）日: 1989-09-20
• 發明（設計）人: 呂剛
• 申請（專利權）人: 能源部南京自動化研究所
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種測量兩固定物體（M、N）之間相對位置變化的變電容式座標傳感測試裝置，它包括：

（1）底板（8）位于相互垂直的X、Y軸平面上，將其水平地固定在第一物體（M）上，上述底板（8）上有一通孔;

（2）兩對極板（1、2）和（3、4）分別平行于上述的Y軸和X軸，并垂直地對稱安裝在上述底板（8）上;

（3）第一中間極板（5）經上述底板（8）上的通孔安裝在Z軸件上，并與Z軸平行，上述Z軸件固定到第二物體（N）上，上述第一中間極板（5）與上述兩對極板（1、2）和（3、4）分別構成測量兩物體（M、N）在X、Y軸向上相對位置變化的兩對差動電容;

本發明的特征在于上述裝置還包括：

（4）第二中間極板（16）固定在上述Z軸件上，并與Z軸垂直;

（5）一對與上述第二中間極板（16）平行的極板（6、7）固定在上述底板（8）上，該對極板（6、7）與上述第二中間極板（16）構成測量兩物體（M、N）在Z軸向上相對位置變化的一對差對電容;

（6）橋式測量電路經導線與上述各差動電容極板連接測出各差動電容比值求出兩物體（M、N）在X、Y、Z各軸向上相對位置變化。

2、按權利要求1所述的測試裝置，其特征在于上述各差動電容極板（1、2、3、4、5、6、7、16）的材料為金屬材料，或采用熱穩定性好的絕緣材料表面涂復金屬膜。