[其他]電弧點(diǎn)火裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 86105020
• 申請(qǐng)日: 1986-08-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN86105020A
• 公開(kāi)（公告）日: 1987-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 托馬斯·A·赫瓦特;保羅·H·奈卡拉;加里·E·弗加桑
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 珀金斯—埃爾默有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/36
• 分類號(hào): C23C14/36
• 代理公司: 上海專利事務(wù)所
• 代理人: 吳淑芳

1、在含有一個(gè)陽(yáng)極和一個(gè)陰極，并在一施加的電弧電壓下起作用而在陽(yáng)極和陰極的對(duì)陰極表面之間持續(xù)一電弧的真空等離子體發(fā)生裝置里一用于引發(fā)電弧的點(diǎn)火裝置，包括：

一個(gè)長(zhǎng)度為L(zhǎng)的，其邊緣與對(duì)陰極表面邊緣并置間距為D的細(xì)長(zhǎng)金屬點(diǎn)火器元件；

一個(gè)具有橋接表面的絕緣元件，被放置得使橋接表面在點(diǎn)火器元件和對(duì)陰極表面邊緣間連接；

在點(diǎn)火器元件和陽(yáng)極間設(shè)置的一個(gè)簡(jiǎn)單的電連接；以及

一層淀積在橋接表面的導(dǎo)電薄膜；

為了使至少有一部分導(dǎo)電薄膜在施加電弧電壓時(shí)汽化并從而引發(fā)電弧，長(zhǎng)度L要夠大而間距小要夠小。

2、按照權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，L約大于5厘米，距離D約在1毫米和10毫米之間。

3、按照權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，點(diǎn)火器元件和絕緣元件大體上環(huán)繞對(duì)陰極表面。

4、按照權(quán)利要求3所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，對(duì)陰極表面為圓形，而點(diǎn)火器元件和絕緣元件做成環(huán)形。

5、按照權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，內(nèi)緣做成許多與橋接表面接觸的鋸齒。

6、按照權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，等離子體發(fā)生裝置適用于借助陰極材料靠來(lái)自對(duì)陰極表面的電弧而汽化來(lái)鍍覆基片，而在橋接表面上的導(dǎo)電薄膜系由一部分汽化的陰極材料所淀積。

7、按照權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，簡(jiǎn)單的電連接包括一小于約15歐姆的電阻元件。

8、按照權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，簡(jiǎn)單的電連接包括在電弧被引發(fā)以后立即斷開(kāi)電連接的開(kāi)關(guān)裝置。

9、按照權(quán)利要求1所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，絕緣元件做成環(huán)繞對(duì)陰極表面的形狀，并由一種絕緣材料構(gòu)成，具有（a）在電弧的帶電粒子的平均能量下小于1的次級(jí)發(fā)射率，以及（b）一小于汽化的對(duì)陰極材料表面能量的表面能量，以約束陰極灼點(diǎn)到對(duì)陰極表面。

10、按照權(quán)利要求9所述的點(diǎn)火裝置，其特征在于，絕緣材料包括氮化硼。

11、一個(gè)真空電弧鍍覆裝置，包括：

一個(gè)陽(yáng)極;

一個(gè)在其上有對(duì)陰極表面的陰極;

一個(gè)長(zhǎng)度為L(zhǎng)、其邊緣與對(duì)陰極表面邊緣并置間距為D的細(xì)長(zhǎng)金屬點(diǎn)火器元件;

一個(gè)具有橋接表面的絕緣元件，被置放得使橋接表面在點(diǎn)火器元件與對(duì)陰極表面邊緣之間連接;

在點(diǎn)火器元件和陽(yáng)極之間設(shè)置的一個(gè)簡(jiǎn)單的電連接;以及

一個(gè)用于提供電弧電壓以便在陽(yáng)極和對(duì)陰極表面之間持續(xù)電弧，使電弧從對(duì)陰極表面汽化陰極材料，從而在橋接表面上淀積一層導(dǎo)電薄膜的裝置;

長(zhǎng)度L要夠大，而間距D要夠小，為的是在電弧電壓終止后接著再施加電弧電壓時(shí)使導(dǎo)電薄膜汽化，并因而在連續(xù)施加電弧電壓時(shí)，再引發(fā)電弧。

12、按照權(quán)利要求11所述的鍍覆裝置，還包括在橋接表面上不存在導(dǎo)電薄膜的情況下用以引發(fā)電弧的單獨(dú)的起動(dòng)裝置。

13、按照權(quán)利要求12所述的鍍覆裝置，其特征在于，單獨(dú)的起動(dòng)裝置至少包括一被連接到點(diǎn)火器元件并伸展到對(duì)陰極表面與之電接觸的導(dǎo)電的并可更換的指狀元件，在橋接表面上不存在導(dǎo)電薄膜的情況下，在施加電弧電壓時(shí)，指狀元件可汽化而引發(fā)電弧。

14、按照權(quán)利要求11所述的鍍覆裝置，其特征在于，絕緣元件取用環(huán)繞對(duì)陰極表面并與之接觸的形狀，并由一種絕緣材料構(gòu)成，具有（a）在電弧的帶電粒子的平均能量下小于1的次級(jí)發(fā)射率，以及（b）小于汽化的對(duì)陰極材料表面能量的表面能量，以便約束陰極灼點(diǎn)到對(duì)陰極表面。

15、按照權(quán)利要求14所述的鍍覆裝置，其特征在于，絕緣材料包括氮化硼。

16、按照權(quán)利要求11所述的鍍覆裝置，其特征在于，點(diǎn)火器元件取用環(huán)繞對(duì)陰極表面的形狀，并且由導(dǎo)磁材料構(gòu)成，以約束陰極灼點(diǎn)到靶表面。

17、按照權(quán)利要求16所述的鍍覆裝置，其特征在于，點(diǎn)火器元件具有一個(gè)防止感應(yīng)電流在點(diǎn)火器元件里流動(dòng)的橫向間隙。

18、按照權(quán)利要求11所述的鍍覆裝置，其特征在于，電弧電壓有一個(gè)約小于100伏特的斷路值。