[其他]具有最佳微型結(jié)構(gòu)的X射線圖象增強(qiáng)管

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 86106387
• 申請日: 1986-09-17
• 公開（公告）號: CN86106387A
• 公開（公告）日: 1987-03-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬蒂納斯·艾德里安·納斯·科尼利厄斯·利格坦伯格;奧格諾特·倫納德·赫爾曼·西蒙斯
• 申請（專利權(quán)）人: 菲利蒲光燈制造公司
• 主分類號: H01J9/22
• 分類號: H01J9/22
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 吳秉芬

本發(fā)明涉及一種制造具有一入射屏幕的X射線圖象增強(qiáng)管的方法，該入射屏幕包括一層發(fā)光材料和一個光陰極，它們一起裝在支座上;本發(fā)明也涉及用本發(fā)明方法制造的X射線圖象增強(qiáng)管。

這種方法是由美國（專利）3，821，763號而為大家所知的，其中所敘述的X射線圖象增強(qiáng)管具有的發(fā)光層最好由CsI組成，并在此發(fā)光層中形成一種結(jié)構(gòu)。一方面，由于汽相淀積參數(shù)，如基底的溫度、汽相淀積的速度等參數(shù)適用于這個目的，故可在所述的CsI層中形成一種結(jié)構(gòu)。另一方面，如同上述專利中所敘述的，可通過該層的熱處理法形成一個附加結(jié)構(gòu)。具有這種結(jié)構(gòu)的層稱為有裂紋的層。已經(jīng)證明，備有一層具有這種結(jié)構(gòu)的發(fā)光材料的X射線圖象增強(qiáng)管，效果是令人滿意的，但由于要求日愈提高，特別是關(guān)于管子分辨率的要求，需要為此而使所說結(jié)構(gòu)最佳化。實(shí)際上，這是指在該層里要實(shí)現(xiàn)更多的裂紋。

本發(fā)明的目的是要滿足這些要求，為此目的，本文頭一段所述方法的特征在于，發(fā)光材料層大體上是以和垂直于支座的法線成偏轉(zhuǎn)角度0°淀積在支座上。

由于實(shí)際上發(fā)光材料是以和垂直于支座的法線成一角度來淀積，所得的極細(xì)CsI柱狀結(jié)構(gòu)通過該層伸展，此柱狀物具有由幾微米至幾十微米的橫截面，或者也可以說成具有的裂紋數(shù)，對于1微米的橫截面，是10，000線/厘米，而對于50微米的橫截面，是200線/厘米。通過建立有平均橫截面的柱狀物，使層的結(jié)構(gòu)適用于所需的分辨率。平均橫截面是屏幕上像素尺寸的實(shí)際粒度的量度。實(shí)際粒度是每個像素直徑有約5和20個柱狀物，以便形成的像有可接受的邊緣分辨率。柱狀之間的間隔最好在約0.25微米以上，因?yàn)檩^少的數(shù)值會使光的分離變壞，但又不超過2微米，因?yàn)檫@會減低層的阻止能力。

在某一最佳實(shí)施例中，入射角（要把它理解為淀積材料的方向與垂直于屏幕的中心線之間的夾角）約在30°之上。發(fā)光層最好用汽相淀積來得到，例如從加熱充滿發(fā)光材料的坩堝淀積。將汽相淀積坩堝和支座彼此相互旋轉(zhuǎn)，汽相淀積坩堝最好在錐形表面上相對于支座的中心作運(yùn)動，以促進(jìn)汽相淀積層的均勻性。在汽相淀積發(fā)光層期間，進(jìn)行幾次旋轉(zhuǎn)是有好處的。

根據(jù)本發(fā)明所制得的X射線圖象增強(qiáng)管，其特點(diǎn)在于發(fā)光材料層具有柱狀結(jié)構(gòu)，柱狀物的平均橫向尺寸最大約25微米，并互相被平均寬度約為0.5微米和幾微米之間的間隙所分開，與此同時，最多只有少量具有超過約50微米的橫向尺寸的柱狀物出現(xiàn)，而且也只有少數(shù)具有寬度比幾微米大得多的間隙出現(xiàn)。為了清楚起見，此后指定柱狀物之間的空間為間隙，在這情況下，應(yīng)注意與根據(jù)先有技術(shù)所說的裂紋相應(yīng)間隙類型意義是不明確的。該間隙常常是由大多數(shù)以細(xì)長形的系列氣泡形式形成的，幸好細(xì)長氣泡的縱向以系列的方向伸展。在諸氣泡之間，柱狀物可以彼此接觸，但這只提供比較小的光接觸，以縱方向測量，氣泡大部分顯著地占據(jù)了超過90%的系列長度，與此同時，如果不采取進(jìn)一步的辦法，氣泡間的節(jié)點(diǎn)也不會形成良好的光接觸;這種情況是相當(dāng)不利的。根據(jù)本發(fā)明的在某一角度的汽相淀積表現(xiàn)出對氣泡的形成有有利的影響。這樣得到的間隙或多或少代表了裂紋間的中間結(jié)構(gòu)，和例如汽相淀積柱狀物之間的間隔，這些柱狀物主要是分開的晶體。

一種很適用于獲得高分辨率的屏幕結(jié)構(gòu)可以用根據(jù)本發(fā)明的汽相淀積法加以實(shí)現(xiàn)，此法開始時基底溫度約20℃，然后用適當(dāng)?shù)鼡竦牡矸e率和從屏幕的熱輸出，使基底達(dá)到要實(shí)現(xiàn)的不超過約200℃的最高溫度。

參考附圖，更全面地?cái)⑹龈鶕?jù)本發(fā)明的幾個最佳實(shí)施例。附圖中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明的X射線圖象增強(qiáng)管，

圖2是實(shí)現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明方法的圖示裝置，以及

圖3是按先有技術(shù)和按本發(fā)明的發(fā)光層照相的平面圖的比較。

圖1是根據(jù)本發(fā)明的裝配在機(jī)殼里的X射線增強(qiáng)管，機(jī)殼有一個入射窗2，一個出射窗4和一個殼層6，圖中有一個入射屏幕8，一個出射屏幕10，一個電子光電系統(tǒng)12，電子光電系統(tǒng)12有一個第一電極14，一個第二電極16和一個端部電極18。這里的入射屏幕8是作為分開的屏幕裝在管里的，但也可以直接裝在入射窗上，入射屏幕包括一個支座或基底20，基底20由例如一厚0.5微米的鋁箔組成，其上有一發(fā)光層22，發(fā)光層最好由CsI（Na）或CsI（Ti）組成，其上根據(jù)具體情況可經(jīng)由一分離層（未示出）裝有一光陰極24。入射在入射窗上的X射線圖線25在發(fā)光層被轉(zhuǎn)換成光電圖象，其結(jié)果是在光陰極里產(chǎn)生一光電子圖象26，它是在強(qiáng)烈加速光電子的同時由電子光電系統(tǒng);成象在出射屏幕上的，并被轉(zhuǎn)換成可以從管外觀察的光電圖象28。