[其他]參比式高分辨率多用激光光學(xué)分析儀

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 86106782
• 申請(qǐng)日: 1986-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN86106782A
• 公開（公告）日: 1988-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張武
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N21/00
• 分類號(hào): G01N21/00;G01N21/17
• 代理公司: 航空工業(yè)部專利事務(wù)所
• 代理人: 李致寧,陳亞莉

1、1984年，美國光學(xué)學(xué)會(huì)雜志《應(yīng)用光學(xué)》(APPLIEDOPTICS/Vo123No21/1Novenmber1984)談到一種被認(rèn)為是先進(jìn)的雙折射測(cè)量方法及其儀器，其方法是先測(cè)出激光的垂直偏振光強(qiáng)Ⅰ_⊥，再測(cè)出激光的平行偏振光強(qiáng)Ⅰ₁₁，按下公式求出被測(cè)物的光程差R來：

|R|=Nπ+2Tan^-1I┴/ I 11]]>N=0,2,4,……（1）

｜R|=(N+1)π-2Tan^-1I┴/ I 11]]>N=1,3,5,……（2）

其結(jié)構(gòu)是：一個(gè)光電轉(zhuǎn)換器、一個(gè)激光光源、起偏鏡、檢偏鏡、顯示器及記錄裝置。

本發(fā)明在方法上的特征是，為消除系統(tǒng)中各不穩(wěn)定因素帶來的誤差，引入?yún)⒈扔?jì)算方法計(jì)算光程差，為測(cè)量微區(qū)(直徑為微米數(shù)量級(jí)的區(qū)域)光程差引入光強(qiáng)法分辨率法，并由此引入跟蹤法確定各點(diǎn)主應(yīng)力方向、等傾線、等色線和程差級(jí)序。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所說的發(fā)明，其特征是參比計(jì)算方法是通過I^′₀（t）、I_⊥（t）（或I₁₁（t））計(jì)算出光程差來

R = λπa r c S i n I ┴( t ) f K′I 0′( t )……(3)]]>

R = λπa r c S i n1 - I 11( t ) f K′I 0′( t )……(4)]]>

式中：I_⊥（t）是第一光電轉(zhuǎn)換器所測(cè)激光垂直偏振光的光強(qiáng);

I₁₁（t）是第一光電轉(zhuǎn)換器所測(cè)激光平行偏振光的光強(qiáng);

I^′₀（t）是第二光電轉(zhuǎn)換器所測(cè)的激光光強(qiáng);

λ是激光波的波長(zhǎng);

K′是和光學(xué)系統(tǒng)吸收和反射有關(guān)的常數(shù);

f是和被測(cè)物吸收和反射有關(guān)的常數(shù)。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所說的發(fā)明，其特征是光強(qiáng)法分辨率是為觀測(cè)微小局部光程差（直徑為微米數(shù)量級(jí)區(qū)域）而突破顯微放大對(duì)物鏡數(shù)值孔徑（NA）的限制，由物鏡13、第一目鏡17和第二目鏡18組成高放大倍數(shù)鏡組實(shí)現(xiàn)。