[其他]濺射涂層設備用的靶中的陰極/接地屏蔽配置

無效

• 申請號: 86107820
• 申請日: 1986-11-14
• 公開（公告）號: CN86107820A
• 公開（公告）日: 1987-11-11
• 發明（設計）人: 阿爾伯特·丹尼爾·格拉瑟
• 申請（專利權）人: 西屋電氣公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 王申,王憲模

1、一種濺射涂層設備用的靶，它包括一個陰極和一個接地屏蔽，陰極有一個在其上面配置了濺射靶物質的外表面，接地屏蔽與陰極有聯系，它對陰極的空間位置關系是使兩者之間形成一個將陰極和接地屏蔽互相隔開的間隙，這種靶的特征在于，該間隙(96)完全填滿了電絕緣材料(102)。

2、一種如權利要求1所述的濺射涂層設備用的靶，其特征在于，上述絕緣材料（102）為陶瓷絕緣材料。

3、一種如權利要求2所述的濺射涂層設備用的靶，其特征在于，上述陶瓷絕緣材料由氧化鋁構成。

4、一種如權利要求1、2或3所述的濺射涂層設備用的靶，其特征在于，陰極（56）具有安裝在上述陰極外表面（60）的周邊部分（66）上的機構（90），該機構形成一個連續的凸緣（94），該凸緣向外延伸，超出上述周邊部分（66），懸在上述間隙（96）和與周邊部分（66）隔開的接地屏蔽（84）毗鄰邊緣（86）的上面。

5、一種如權利要求4所述的濺射涂層設備用的靶，其特征在于，形成上述凸緣（94）的機構（90）由在上述陰極的周邊部分（66）之上的沿周緣圍繞上述陰極（56）的外表面（60）延伸的條板配置而成。

6、一種如權利要求5所述的濺射涂層設備用的靶，其特征在于，上述濺射靶材料（58）與一個止動圈（65）相結合，該止動圈圍繞濺射靶材料并被支承在上述陰極（56）外表面（60）的上述周邊部分（66）上，上述條板（90）被緊固在上述止動圈（65）上。