[其他]印刷線路板的圖案抗蝕法

無效

• 申請號: 87100339
• 申請日: 1987-01-19
• 公開（公告）號: CN87100339A
• 公開（公告）日: 1988-08-03
• 發明（設計）人: 哈羅德·萊克;保羅·E·格蘭蒙特
• 申請（專利權）人: 福克斯保羅公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖掬昌

1、一種在印刷線路板基板上的光可處理層制作圖案的方法，其特征包括：

準備一塊基板，其上層的光可處理材料對投射的第一光譜能量敏感，

將一層對投射到基板的第二光譜能量敏感的未曝光、未顯影的照相成像膠片涂敷在光可處理層上，

用一個自動光繪圖儀發射的一束包括所說第二光譜但基本上排斥所說第一光譜的光束有選擇地將基板上的所說膠片曝光，使膠片受到激發而不影響下伏的光可處理材料層，

將基板上的膠片顯影，

通過在所說膠片層顯影出的圖像作為在該處的掩模，使光可處理層在基板上基本均勻地分布的所說第一光譜中的能量下曝光，

除去所說膠片層，以及

處理所說光可處理層，

從而可用低能量繪制創造出高分辨率的可檢查在板掩模。

2、權利要求1的方法，其特征在于除去所說膠片的所說步驟是通過將所說膠片剝離所說基板來完成的。

3、權利要求1的方法，其特征在于曝光后處理所說光可處理層是通過化學方法除去所說光可處理層的已曝光或未曝光的部分來完成的。

4、權利要求1的方法，其特征在于所說第一光譜是紫外光，而所說第二光譜是可見光。

5、權利要求1的方法，其特征在于用一自動光繪圖儀將所說膠片曝光的所說步驟包括備制一個導體圖案的數字表示法和用所說數字表示法控制所說光繪圖儀的準備步驟。

6、權利要求5的方法，其特征在于所說光繪圖儀是一個白光X-Y繪圖儀。

7、權利要求5的方法，其特征在于所說光繪圖儀是一個帶有可觸發白光光源的光柵掃繪圖儀。

8、權利要求5的方法，其特征在于所說白光光源以八角形形狀加到膠片上，掃描間距要使得相鄰掃描的八角形的邊彼此對準和基本上接觸，以便形成的直邊線條與掃描方向成0、45或90°的角度。

9、權利要求1的方法，其特征在于所說膠片在所說光可處理層相鄰處備有乳膠側面。

10、權利要求1的方法，其特征在于所說膠片是干銀膠片。

11、權利要求1的方法，其特征在于所說膠片是熱可顯影膠片。

12、權利要求1的方法，其特征在于所說膠片在所說光可處理層相鄰處備有乳膠側面的熱可顯影膠片。

13、一種為印刷線路板用的光可處理層的制作圖案的方法，其特征包括：

將一層對投射的第一光譜能量敏感的光可處理層和一層對投射的第二光譜能量敏感的未曝光、未顯影的照相成像膠片層層壓在一起以形成一個組合層，

將其上帶有膠片層的所說組合層加到一塊基板上，

用一個自動光繪圖儀發射的一束包括所說第二光譜但基本上排斥所說第一光譜的光束有選擇地將所說膠片層曝光，使膠片受到激發而不影響下伏的光可處理材料層，

將基板上的膠片顯影，

通過在所說膠片層中顯影出的圖像作為在該處的掩模，使光可處理層在基板上基本均勻地分布的所說第一光譜中的能量下曝光，

除去所說膠片層，以及

處理所說光可處理層，

從而可用低能量繪制創造出高分辨率的可檢查在板掩模。

14、權利要求13中的方法，其特征在于除去所說膠片層的所說步驟是通過將所說膠片剝離所說基板來完成的。

15、權利要求13的方法，其特征在于曝光后處理所說光可處理層是通過化學方法除去所說光可處理層的已曝光或未曝光部分。

16、權利要求13的方法，其特征在于所說第一光譜是紫外光，而所說第二光譜是可見光。

17、權利要求13的方法，其特征在于用一自動光繪圖儀將所說膠片曝光的所說步驟是通過建立一個導體圖案的數字表示法和用所說數字表示法控制所說光繪圖儀來完成的。

18、權利要求17的方法，其特征在于所說光繪圖儀是一個白光X-Y光繪圖儀。

19、權利要求17的方法，其特征在于所說光繪圖儀是一個帶有可觸發白光光源的光柵掃描繪圖儀。

20、權利要求19的方法，其特征的于光源以八角形形狀加到膠片上，掃描間距要使得八角形的邊彼此對準和基本上接觸，以便形成的直邊線條與掃描方向成0、45°和90°的角度。