[其他]紫外光源和光化反應(yīng)的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87102347
• 申請(qǐng)日: 1987-03-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN87102347A
• 公開(kāi)（公告）日: 1987-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山崎舜平;大島喬;浦田一男;田代衛(wèi);店村悠爾;今任慎二;伊藤健二;尾高政一;林茂則;宏瀨直樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
• 主分類號(hào): H01J61/24
• 分類號(hào): H01J61/24;H01J61/52;C23C16/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理有限公司
• 代理人: 吳增勇,吳秉芬

1、一套紫外光源，其特征在于包括：

一個(gè)有著把工作媒質(zhì)的蒸汽以適當(dāng)負(fù)壓進(jìn)行氣閉密封于其中的透明器壁的真空容器；

設(shè)置在所述容器內(nèi)，用于放電的陰極和陽(yáng)極端子；

用于冷卻所述端子的裝置。

2、根據(jù)權(quán)利要求1的光源，其特征在于，它是用于化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)中的。

3、根據(jù)權(quán)利要求2的光源，其特征在于，所述容器是一根用石英制成、其任何一端都是封閉的管子。

4、根據(jù)權(quán)利要求3的光源，其特征在于，所述冷卻裝置是一對(duì)分別蓋在所述封閉端上、冷卻水通過(guò)它們進(jìn)行循環(huán)的罩帽。

5、根據(jù)權(quán)利要求4的光源，其特征在于，所述管子的所述兩端是由所述罩帽封閉的。

6、根據(jù)權(quán)利要求5的光源，其特征在于，所述各罩帽的內(nèi)面都是用導(dǎo)熱材料制成的。

7、一套紫外光源，其特征在于包括：

-一根真空的管子;

-設(shè)置在所述管子內(nèi)、其間發(fā)生放電的陽(yáng)極和陰極;

-在所述管子內(nèi)、被所述輝光放電激勵(lì)而發(fā)射紫外光的汽化工作媒質(zhì);

-設(shè)置在所述管子上、用于以液態(tài)形式貯存所述媒質(zhì)的冗余量的儲(chǔ)蓄池;以及

-用于冷卻所述儲(chǔ)蓄池的裝置。

8、根據(jù)權(quán)利要求7的光源，其特征在于，所述儲(chǔ)蓄池設(shè)置在不發(fā)生等離子體的部位。

9、根據(jù)權(quán)利要求8的光源，其特征在于，所述工作媒質(zhì)是汞。

10、根據(jù)權(quán)利要求9的光源，其特征在于，所述放電為弧光放電。