[其他]計量裝置

無效

• 申請號: 87102434
• 申請日: 1987-03-04
• 公開（公告）號: CN87102434A
• 公開（公告）日: 1987-11-25
• 發明（設計）人: 休·羅杰斯·萊恩;彼得·迪安·翁揚
• 申請（專利權）人: 蘭克·泰勒·霍布森有限公司
• 主分類號: G01B5/20
• 分類號: G01B5/20;G06F15/46
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 曹濟洪,許新根

1、計量裝置包括一個用來安放一件工件的可旋轉部件(4)，用以旋轉該部件的第一驅動機構(33)，在可旋轉部件旋轉期間為了檢測安放在可旋轉部件(4)上的一件工件的表面的傳感器(12、14)，用來相對于工件安放部件(4)移動并支撐傳感器(12、14)的部件(10)，用來使該傳感器(12、14)移動的第二驅動機構(35、37)，和為了提供計量數據而處理從該傳感器(12、14)得到的接收信號的數字計算機部件(22、30、40)，其特征是，該數字計算機部件(22、30、40)按照從該傳感器(12、14)得到的信號來控制工件和傳感器(12、14)之間的相對移動，使得該傳感器沿著工件表面并根據該信號和該傳感器的移動來提供計量數據。

2、按照權利要求1所述的裝置，其特征是，所說的支撐部件（10）支撐該傳感器（12、14）在一個相對于該可旋轉部件（4）的徑向方向移動。

3、按照權利要求1所述的裝置，其特征是，所說的支撐部件（10）支撐該傳感器（12、14）在一個相對于該可旋轉部件（4）的軸向方向移動。

4、按照權利要求1所述的裝置，其特征是，所說的支撐部件（10）支撐該傳感器（12、14）在相對于該可旋轉部件（4）的徑向和軸向兩個方向移動。

5、按照權利要求2或4所述的裝置，其特征是，所說的該傳感器（12、14）可在相對于該可旋轉部件（4）的一個徑向平面上檢測一件工件的外形和所說的計算機部件可按照從該傳感器（12、14）得到的信號去控制該第二驅動機構（35）在徑向方向去移動該傳感器，以使得傳感器（12、14）是沿著該工件表面。

6、按照權利要求3或4所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）是用來檢測平行于可旋轉部件（4）的軸的工件的外形，所說的計算機部件（22、30、40）可控制該第二驅動機構（27），按照從該傳感器（12、14）得到的信號，使得該傳感器（12、14）沿著工件表面在軸向方向上移動。

7、按照權利要求4所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）可選擇地工作在徑向平面上去檢測工件外形的第一狀態或在軸向平面上去檢測工件外形的第二狀態，該計算機部件（22、30、40）相應地去控制傳感器（12。14）在徑向或軸向的任一個方向上移動。

8、按照上述任何權利要求所述的裝置，其特征是，所說的數字計算機部件的工件是根據由該傳感器（12、14）得到的信號去控制第一驅動機構（33），使得傳感器（12、14）沿著該工件表面。

9、按照上述任何權利要求所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）包括一個具有同工件表面相接觸的一個頂端的觸針（12）和一個在單一平面上響應于觸針（12）偏移產生的信號的變換器（14），為了從第一狀態變到第二狀態，該變換器（14）和觸針（12）一起可旋轉。

10、按照上述任何權利要求所述的裝置，其特征是，該傳感器（12、14）產生一個相對于被檢測表面變化為線性的輸出信號。

11、按照權利要求10所述的裝置，其特征是，所說的計算機部件（22、30、40）控制該第二驅動機構（35、37）以保持該傳感器（12、14）靜止不動，直到其輸出信號超過一予定門限。

12、按照權利要求10或11所述的裝置，其特征是，在所說的計算機部件（22、30、40）中，當其輸出為一予定值時，根據所存貯的對應傳感器（12、14）位置的信號提供計量數據。

13、按照上述任何權利要求所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）具有優于20毫微米的分辨率。

14、按照權利要求13所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）可以分辨到12毫微米。

15、按照權利要求14所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）適于檢測外形的變化達到0.4毫米。

16、根據上述任何權利要求所述的裝置，其特征是，對傳感器（12、14）位置的分辨至少在一個方向上分辨到500毫微米以內。