[其他]電容式測位傳感器

無效

• 申請號: 87102580
• 申請日: 1987-04-04
• 公開（公告）號: CN87102580A
• 公開（公告）日: 1987-12-02
• 發明（設計）人: 英格瓦·安德莫
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐制作所
• 主分類號: G01B7/02
• 分類號: G01B7/02;G01D5/24
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 吳秉芬,杜有文

1、一種電容式測位傳感器，其特征在于具有第一定標器和第二定標器，把這2個定標器相互靠近并能相對移動地配置起來；

在所述第一定標器上設置第一發送電極和第一接收電極；把交流信號送到第一發送電極上；在對第一發送電極絕緣的狀態下配置測量電路，把測量電路連接到第一接收電極上；

在所述第二定標器上設置第二接收電極和第二發送電極；第二接收電極由電極群構成，沿著相對移動的方向把電極群配置在能夠與第一發送電極相向的位置上，第二接收電極與第一發送電極為電容耦合；第二發送電極由電極群構成，沿著相對移動的方向把電極群配置在能夠與第一接收電極相向的位置上，第二發送電極與第一接收電極為電容耦合；

通過耦合電極，把各個第二接收電極和第二發送電極相互電氣連接起來；

在各個連接起來的第二接收電極與第二發送電極之間，沿著相對移動的方向加入不同的偏移；

對于各相對移動位置，根據所述特定的偏移，能夠進行絕對測量。

2、根據權利要求1的電容式測位傳感器，其特征在于配置第二接收電極和第二發送電極時，設定：在第二定標器中點，第二定標器的偏移量為零;隨著靠近該定標器的兩端，偏移在正、負相反的方向上增大。

3、根據權利要求1或2的電容式測位傳感器，其特征在于，第一發送電極中依次相鄰的若干個電極形成1個電極群，把相位不同的交流信號送到各電極群（每個第一發送電極）中的各個電極上;把1個電極群的節距看作發送波長節距，在定標器能夠進行測長的范圍內，所述偏移不能超過發送波長節距。

4、根據權利要求3的電容式測位傳感器，其特征在于，為了輸出2個相位不同的信號第一接收電極由2種電極群構成;設：第一接收電極群的節距為接收波長節距Wr1、上述第一發送波長節距為Wt1、第二接收電極節距為Pr2和第二發送電極節距為Pt2，并設定：Wr1＝Wt1×Pt2/Pr2。

5、根據權利要求4的電容式測位傳感器，其特征在于第一接收電極由2個形狀極性相反的電極構成。

6、根據權利要求5的電容式測位傳感器，其特征在于上述第一接收電極由2個極性相反的正弦波形電極構成。

7、根據權利要求5的電容式測位傳感器，其特征在于上述第一接收電極由2個極性相反的三角波形電極構成。

8、一種電容式測位傳感器，其特征在于具有第一定標器和第二定標器，把這2個定標器相互靠近并能相對移動地配置起來;

在所述第一定標器上設置第一發送電極和第一接收電極，把交流信號送到第一發送電極上;在對第一發送電極絕緣的狀態下配置測量電路，把測量電路連接到第一接收電極上;

在所述第二定標器上設置第二接收電極和第二發送電極，第二接收電極由電極群構成，沿著相對移動的方向把電極群配置在能夠與第一發送電極相向的位置上，第二接收電極與第一發送電極為電容耦合;第二發送電極由電極群構成，沿著相對移動的方向把電極群配置在能夠與第一接收電極相向的位置上，第二發送電極與第一接收電極為電容耦合;

通過耦合電極，把各個第二接收電極和第二發送電極相互電氣連接起來;

在各個連接起來的第二接收電極與第二發送電極之間，沿著相對移動的方向加入不同的偏移;

對于各相對移動位置，根據所述特定的偏移，在遍及整個測量范圍內，可以進行粗測絕對測量。

還有，所述第二接收電極由具有等間隔節距的多個電極構成，該節距是用給定的整數除第一發送電極群的發送波長節距;

能夠以定標器精度在所述粗測間進行細測，該定標器精度是用第一發送電極群內的發送電極數除第二接收電極節距形成的。

9、根據權利要求8的電容式測位傳感器，其特征在于配置第二接收電極和第二發送電極時，設定：在第二定標器中點，第二定標器的偏移量為零;隨著靠近該定標器兩端，偏移在正、負相反的方向上增大。

10、根據權利要求8或9的電容式測位傳感器，其特征在于，第一發送電極中依次相鄰的若干個電極形成1個電極群，把相位不同的交流信號送到各電極群（每個第一發送電極）中的各個電極上;把1個電極群的節距看作發送波長節距，在定標器能夠進行測長的范圍內，所述偏移不能超過發送波長節距。