[其他]旋轉(zhuǎn)干燥設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87103644
• 申請日: 1987-05-16
• 公開（公告）號: CN87103644A
• 公開（公告）日: 1987-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杰拉爾德·馬丁·卡爾
• 申請（專利權(quán)）人: 伊斯曼柯達(dá)公司
• 主分類號: F26B5/08
• 分類號: F26B5/08
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖春京,林長安

1、用于干燥片狀元件的旋轉(zhuǎn)干燥設(shè)備，所述設(shè)備包括一軸被安排成用以作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，并在其一端部上有一驅(qū)動馬達(dá)，及在其另一端部上有一旋轉(zhuǎn)的頂部組件，其特征在于：

-所述頂部組件包括一頂部元件同軸地安排在所述軸的另一端部上并具有一多個從該軸上向外延伸的旋臂；

-一多個可動臂與各個所述旋臂樞軸連接并具有圓片一接合部分；

-用以偏移所述可動臂的圓片一接合部分至圓片一接合位置的偏移裝置；

-用以移動可動臂以反抗所述偏移裝置從所述圓片一接合位置移動可動臂的所述圓片一接合部分的裝置，及

-緊密地圍繞所述徑向延伸臂的抑制裝置包括一蓋罩元件用以大體上消除由于所述徑向延伸臂的旋轉(zhuǎn)而在所述片狀元件的周圍產(chǎn)生的氣流。

2、按權(quán)利要求1所述的發(fā)明，其特征在于，其中所述可動臂大體上為T形。

3、按權(quán)利要求2所述的發(fā)明，其特征在于，其中各個所述T形可動臂具有一通常是軸向延伸的第一支架部分及一通常是徑向延伸的第二支柱部分，和其中所述軸向延伸支架部分穿過所述抑制蓋罩裝置延伸出去。

4、按權(quán)利要求3所述的發(fā)明，其特征在于，其中所述可動臂是在所述軸向延伸支柱部分與徑向延伸支架部分的接合點(diǎn)上與所述旋臂樞軸地連接。

5、按權(quán)利要求3所述的發(fā)明，其特征在于，其中所述可動臂的所述軸向延伸支柱部分包括所述圓片一接合部分。

6、按權(quán)利要求3所述的發(fā)明，其特征在于，其中所述T形臂包括放置在從所述軸向延伸支柱部分的樞軸連接處的相對邊上的平衡塊，所述平衡塊在所述頂部組件旋轉(zhuǎn)時(shí)提供一大體上與在旋轉(zhuǎn)時(shí)所述軸向延伸的支架部分上的離心力相等或稍大的離心力，從而使所述平衡塊的離心力趨向于使軸向延伸支架部分夾持所述片狀元件。

7、用于干燥片狀元件的旋轉(zhuǎn)干燥設(shè)備，所述設(shè)備包括一軸安排成用以作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動并于其一端部具有一驅(qū)動馬達(dá)，及于其另一端部上有一旋轉(zhuǎn)的頂部組件，其特征在于，

-所述頂部組件包括一頂部元件同軸地安排在所述軸的另一端部上并具有一多個從該軸向外延伸的旋臂;

-多個T形臂，一對一地與所述旋臂樞軸連接，所述T形臂各具有一軸向延伸的圓片一接合支架部分，及一延伸到所述頂部元件的徑向延伸支架部分;

-包括放置在所述軸中的傳動桿及在所述頂部元件中用以接合所述T形臂的內(nèi)端部的裝置的致動裝置;

-用以偏移所述致動裝置朝向所述電動機(jī)以移動所述T形臂的圓片一接合支架部分到一圓片一接合位置的偏移裝置;

-用以移動所述致動裝置以反抗所述偏移裝置從所述圓片一接合位置移動所述圓片-接合支架部分的裝置;

-圍繞所述旋轉(zhuǎn)頂部組件及具有一開口的上端部的第一抑制裝置，所述第一抑制裝置在鄰近所述T形臂的圓片一接合支架部分處具有一向下的及向外的傾斜的中間部分;

-緊貼地并固定地放置在環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)臂周圍并從所述第一抑制裝置的下部部分向內(nèi)加以間隔的第二抑制裝置，所述第二抑制裝置終止于一上端部恰好在所述臂的所述樞軸連接的上方;

-一用以所述第二抑制裝置連接到所述頂部組件并從所述頂部組件向外延伸并超過所述T形臂的軸向延伸圓片一接合支架部分及在極接近所述第二抑制裝置的上端部終止的蓋罩裝置，從而使所述第二裝置和所述蓋罩裝置大體上消除由于所述頂部組件的旋轉(zhuǎn)而在所述片狀元件的周圍空氣流的產(chǎn)生，及

-一用以升舉所述旋轉(zhuǎn)的頂部組件至一其中所述圓片一接合支架部分被放置在所述第一抑制裝置的開口的上端部的上方的位置的裝置。

8、按權(quán)利要求7所述的發(fā)明，其特征在于，其中所述T形臂包括放置在從所述軸向延伸支架部分的樞軸連接的相對邊的平衡塊，所述平衡塊在所述頂部組件的旋轉(zhuǎn)提供一大體上與所述軸向延伸支架部分上在旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力相等或稍大的離心力，從而使所述平衡塊的力離心力趨向于使軸向延伸的支架部分夾持所述片狀元件。

9、用于干燥半導(dǎo)體圓片的旋轉(zhuǎn)干燥設(shè)備，所述設(shè)備包括一垂直的空心軸安排成用以作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動并于其下端部具有一驅(qū)動馬達(dá)，及于其上端部有一旋轉(zhuǎn)的頂部組件，其特征在于，

-所述頂部組件包括一空心頂部元件同軸地安排在所述空心軸的上端部并具有一多個從該空心軸向外延伸的間隔著的旋臂對;

-一多個T形臂，以一個T形臂放置于一旋臂對的兩臂之間并樞軸地連接到所述旋臂的外端部，所述T形臂各具有一軸向延伸的圓片一接合支架，各所述T形臂的其它支架在所述旋臂對之間徑向延伸到所述頂部元件內(nèi);

-包括同軸地放置在所述空心軸中的傳動桿及在所述頂部元件中用以接合所述T形臂的內(nèi)端部的致動裝置;

-用以將與所述軸同軸的致動裝置偏移向所述電動機(jī)的裝置以將所述圓片-接合支架部分朝向所述頂部組件的中央移動到一圓片-接合位置的偏移裝置;

-放置在穿過所述傳動桿和穿過所述軸向外延伸并連接到一軸襯;

-放置在圍繞所述軸并安排成選擇性接合所述軸襯的叉形件裝置;傳動器裝置安排成在所述軸的軸向上移動所述叉形件以接合所述軸襯并向上地移動所述致動裝置以反抗位移裝置的力，從而將所述圓片一接合支架部分從圓片-接合位置向外地移動;

-周邊地圍繞所述旋轉(zhuǎn)頂部組件并具有直徑較所述旋轉(zhuǎn)頂部組件的直徑為大的開口的上端部的第一抑制裝置，所述第一抑制裝置在鄰近所述T形臂的所述圓片-接合支架部分具有向下的和向外的傾斜的中間部分，在所述第一抑制裝置的下部部分放置排水裝置;

-緊貼地并固定地放置在圍繞所述旋轉(zhuǎn)臂并從所述第一抑制裝置的下部部分向內(nèi)地加以隔開的第二抑制裝置，所述第二抑制裝置終止于上端部恰好在所述臂之間的所述樞軸連接之上方;

-一用于所述第二抑制裝置的蓋罩裝置連接到所述頂部組件并從所述頂部組件的中央向外延伸超過軸向延伸的所述T形臂的圓片-接合支架部分，并在極接近第二抑制裝置的上端部終止，從而使所述第二抑制裝置和所述蓋罩裝置大體上防止了由于所述頂部的旋轉(zhuǎn)在圍繞所述圓片所產(chǎn)生的氣流;

-所述T形臂被提供以放置在從所述圓片一接合支架部分的所述樞軸連接的相對邊的平衡塊，所述平衡塊由于頂部組件的旋轉(zhuǎn)提供一大體上與在旋轉(zhuǎn)時(shí)所述圓片-接合支架部分上的離心力相等或稍大的離心力，從而所述平衡塊的離心力趨向于使所述圓片-接合支架部分夾持所述片狀部件;

-用以升舉所述旋轉(zhuǎn)頂部組件至一其中所述圓片-接合支架部分被放置在所述第一抑制裝置的開口上端部的位置的裝置，及

-一第一對噴咀裝置用以在旋轉(zhuǎn)操作過程的第一部分將液體射向所述圓片的兩表面上，及

-一第二對噴咀裝置用以在旋轉(zhuǎn)操作過程的第二部分將惰性氣體射向所述圓片的兩表面上。