[其他]干式真空泵

無效

• 申請號: 87103739
• 申請日: 1987-05-29
• 公開（公告）號: CN87103739A
• 公開（公告）日: 1988-12-14
• 發明（設計）人: 胡煥林
• 申請（專利權）人: 合肥工業大學;南京真空泵廠
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/344;F04C29/02
• 代理公司: 國家機械工業委員會機械專利事務所
• 代理人: 孫文彩,曹敏

本發明涉及一種真空泵，特別是一種能使被抽真空系統清潔、無油污染的干式真空泵。

目前在核真空技術、稀有金屬冶煉、半導體器件制造、等離子技術、食品和醫藥真空包裝等方面，應用最為普遍的是油封機械泵，它包括旋片式、滑閥式、定片式或真空泵。這些真空泵依靠真空泵油潤滑、密封和保證在低壓強時微量氣體的排出。在應用過程中，在旋片式泵等的高級腔中的真空泵油會有少量被拋向被抽系統，另外高級腔中的真空泵油也會慢慢地向被抽系統和管道“爬行”。這些被拋入和“爬行”入被抽系統的真空泵油，在低壓強下不斷揮發，雖然被泵本身抽走一部分，但還是有不少油氣返流而污染被抽系統。這種油氣污染是十分有害的，尤其對食品、醫藥包裝會直接影響到人身健康。蘭州物理研究所有關專家對旋片式真空泵的返油量所作的測試結果表明，油氣對被抽系統的污染十分嚴重。早在五十年代人們就曾設想用一種無油真空泵代替如旋片式等有油真空泵，但無油泵的一個十分突出的問題是壓縮比不高。后來又有人提出用旋片式無油泵與有油的旋片式泵等聯合成機組形式，上海原子核研究所曾作過試驗，極限真空可達10^-3托，降低返油率達95%～97%。但由于這種機組形式的價格十分昂貴。因此，在工業上至今未能廣泛采用。

本發明的目的是提供一種能夠使被抽真空系統清潔、無返油污染，整體式結構的且價格低廉的，適合于工業生產和廣泛應用的干式真空泵。

本發明所述的干式真空泵，為達到上述目的，真空泵的吸氣系統采用無油干級、吸附級和油封級三級串聯的整體式吸氣結構。如圖1所示，無油干級（5），此級全無油，從進口（15）吸入的氣體經無油干級（5）輸送到吸附級（22），起凈化和予壓縮作用。吸附級（22）由裝有幾層氧化鋁分子篩的濾網組成，有吸收氣體中的水蒸氣和防止油封級（12）含油氣體返流的作用。油封級（12）把經無油干級（5）、吸附級（22）輸來的氣體依靠變容原理及真空泵油的作用把氣體壓縮排出。如圖2所示，上述的三級串聯整體式吸氣結構中，無油干級和油封級同軸。電動機帶動皮帶輪使無油干級的轉子（4）和油封級的轉子（10）同時轉動，兩轉子都與泵腔相切，且轉子都與泵腔偏心安裝。如圖4和圖5所示，在泵軸轉動時，泵腔的空腔Ⅰ和Ⅰ′不斷增大，吸氣;空腔Ⅱ和Ⅱ′達最大后逐漸變小，壓縮氣體;空腔Ⅲ和Ⅲ′不斷變小壓縮氣體，使氣體被壓縮排出。

下面結合實施例及附圖對本發明所述的真空泵做進一步地描述。

圖1為干式真空泵實施例的工作原理圖。

圖2為干式真空泵實施例的主視圖;

圖3為干式真空泵實施例的左視圖;

圖4為干式真空泵的無油干級轉子和泵腔工作示意圖;

圖5為干式真空泵的油封級轉子和泵腔的工作示意圖;

圖6為干式真空泵的轉子和泵腔110°的切點結構示意圖;

圖中，1是大氣通道，2是貼片，3是無油干級旋片，4是無油干級轉子，5是無油干級，6是無油干級泵腔，7是油封，8是泵軸，9是中壁，10是油封級轉子，11是油封級旋片，12是油封級，13是油封，14是皮帶輪，15是進氣口，16是油封級泵腔，17是排氣口，18是密封圈，19是排氣閥，20是防噴油結構，21是氧化鋁分子篩，22是吸附級，23是泵油。