[其他]一種盤形渦輪復(fù)合分子泵無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 87103994 | 申請日： | 1987-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN87103994A | 公開（公告）日： | 1988-12-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 朱岳;王孝珍;竺長新 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院北京真空物理實驗室 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中國科學(xué)院專利事務(wù)所 | 代理人： | 李紅 |
| 地址： | 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 渦輪 復(fù)合 分子 | ||
1、一種泵芯結(jié)構(gòu)具有高真空端是渦輪部分，低真空端是盤形部分按串聯(lián)方式構(gòu)成的盤形渦輪復(fù)合分子泵，其特征在于泵芯的渦輪部分和盤形部分之間串接有盤形渦輪結(jié)構(gòu)作為過渡部分結(jié)構(gòu)。
2、權(quán)利要求1所述的復(fù)合分子泵，其特征在于過渡部分是盤形渦輪分子泵泵芯結(jié)構(gòu)，即每一級由裝在轉(zhuǎn)子上的一片帶有渦輪葉齒的動圓盤和一片在盤面上開有若干個沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或?qū)?shù)線形或直線形抽氣溝槽的定圓盤組成。
3、權(quán)利要求1所述的復(fù)合分子泵，其特征在于盤形部分的每一級是由一片裝在電機(jī)轉(zhuǎn)子上的旋轉(zhuǎn)平板圓盤面上開有若干個沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或?qū)?shù)線形或直線形抽氣溝槽的定圓盤組成。
4、權(quán)利要求2所述的復(fù)合分子泵，其特征在于盤形渦輪過渡部分可以是單級或多級構(gòu)成。
5、權(quán)利要求3所述的復(fù)合分子泵，其特征在于盤形部分可以是單級或多級構(gòu)成。
6、權(quán)利要求1或2所述的復(fù)合分子泵，其特征在于定圓盤盤面上所開的抽氣溝槽的線形可以是沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或?qū)?shù)線形或直線形抽氣溝槽。
7、權(quán)利要求1、2或3所述的復(fù)合分子泵，其特征在于定圓盤盤面上所開的抽氣溝槽的線形可以是沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或?qū)?shù)線形或直線形抽氣溝槽。
8、權(quán)利要求2或3所述的復(fù)合分子泵，其特征在于多級串聯(lián)時定圓盤的兩側(cè)盤面上都開有若干個沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或?qū)?shù)線形或直線形抽氣溝槽。
9、權(quán)利要求8所述的復(fù)合分子泵，其特征在于定圓盤兩側(cè)盤面上所開的抽氣溝槽的線形走相反。
10、權(quán)利要求8所述的復(fù)合分子泵，其特征在于同一定圓盤的兩個側(cè)面上或不同定圓盤的兩個盤面上所開的抽氣溝槽的數(shù)目可以不同。
11、權(quán)利要求8、9或10所述的復(fù)合分子泵，其特征在于定圓盤兩側(cè)盤面上開的抽氣溝槽的長度可以不同。
12、權(quán)利要求8或10所述的復(fù)合分子泵，其特征在于同一定圓盤的兩個側(cè)面上或不同定圓盤的盤面上所開的抽氣溝槽的槽深可以不同。
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