[其他]光學式位移檢測裝置

無效

• 申請號: 87106274
• 申請日: 1987-08-15
• 公開（公告）號: CN87106274A
• 公開（公告）日: 1988-02-24
• 發明（設計）人: 市川宗次
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐制作所
• 主分類號: G01B11/04
• 分類號: G01B11/04
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 林長安,許新根

1、一種光學式位移檢測裝置，其特征在于，該裝置包括：

照明裝置，包括一個相干光源；

主標尺，在其上形成以具有光柵間距為P的第一光柵；

指示標尺，在其上形成以具有光柵間距q=P/n(n為等于或大于2的整數)；和

光接收元件，用以對透過所述第一和第二光柵照射的照明光進行光電轉換；

其中，隨著所述主標尺與所述指示標尺的相對位移，產生間距為P/n的檢測信號。

2、如權利要求1所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，當考慮到所述光接收元件而將光學系統有效光譜的中心波長調定為時，所述第一和第二光柵之間的間隙距離調定為mq²/左右（m為等于或大于，的整數）。

3、如權利要求1所述的光學位移檢測裝置，其特征在于，當考慮到所述光接收元件而將光學系統的中心波長調定為時，所述第二光柵的光柵間距q調定為P/2，所述第一和第二光柵之間的間隙距離調定為2q²/。

4、如權利要求1所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述光源是一個激光二極管。

5、如權利要求1所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述第一光柵的透光部分或反光部分與遮光部分或吸收光部分之間的比值大體上為1∶1。

6、如權利要求1所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述第二光柵的透光部分與遮光部分之間的比值大體上為1∶1。

7、一種光學式位移檢測裝置，其特征在于，該裝置包括：

漫射性光源，用以照明主標尺而不使用準直透鏡;

所述主標尺，安置在距所述漫射性光源一段間隙距離u間隔分離的位置上，在其上形成以具有光柵間距為p的第一光柵;

指示標盤，安置在距所述第一光柵一段間隙距離v的間隔分離的位置上，在其上形成以具有光柵間距q＝（u+v）P/u的第二光柵;和

光接收元件，用以對兩標尺彼此相對移動時所述漫射性光源使第一光柵的象與所述第二光柵重疊所引起的光量變化進行光電轉換;

8、如權利要求7所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述漫射性光源是一個點光源。

9、如權利要求8所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述點光源是一個激光二極管。

10、如權利要求8所述的光學式位移測定裝置，其特征在于，所述點光源是在激光二極管發光部分前面設置一個用以控制發散角的透鏡形成的。

11、如權利要求10所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述用以控制發散角的透鏡是一個半球面透鏡。

12、如權利要求7所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述漫射性光源是一個定向于所述第一光柵寬度方向上的線性光源。

13、如權利要求7所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，當光學系統的光敏性光譜的波長平均值調為時，所述間隙距離v調定為：

v≌unP²/（u-nP²）

其中n為等于或小于u/P²的自然數。

14、一種光學式位移檢測裝置，其特征在于，該裝置包括：

漫射性光源，用以照明主標尺而不用準直透鏡;

所述主標尺，安置在距所述漫射性光源一段間隙距離u的間隔分離的位置上，在其上形成以光柵間距為p的第一光柵，

指示標尺，安置在距所述第一光柵一段間隙距離v的間隔分離v的間隔分離的位置上，在其上形成以具有光柵間距q＝（u+v）P/（2u）的第二光柵;和

光接收元件，用以對兩標尺彼此相對移動時所述漫射性光源使所述第一光柵的象與所述第二光柵重疊所引起的光量變化進行光電轉換。

15、如權利要求14所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述漫射性光源是一個點光源。

16、如權利要求15所述的光學式位移檢測裝置，其特征在于，所述點光源是一個激光二極管。

17、如權利要求15所述的光學式位移測定裝置，其特征在于，所述點光源是在激光二極管發光部分前面設置一個用以控制分散角的透鏡形成的。