[其他]光學(xué)元件厚度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87200715
• 申請(qǐng)日: 1987-01-20
• 公開（公告）號(hào): CN87200715U
• 公開（公告）日: 1987-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐昌杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G01B9/02
• 代理公司: 浙江大學(xué)專利代理事務(wù)所
• 代理人: 林懷禹

1、一種光學(xué)元件厚度光學(xué)測(cè)量?jī)x器，由麥克爾遜干涉系統(tǒng)組成，本實(shí)用新型的特征是，在被測(cè)件[5]的一側(cè)，由固定鏡[1]，透反鏡[2]、補(bǔ)償板[3]及白光光源[4]組成的左麥克爾遜干涉系統(tǒng)和在被測(cè)件[5]的另一側(cè)，由上與指示器[10]相接觸而且能上下移動(dòng)的可動(dòng)平面鏡[6]、透反鏡[8]、補(bǔ)償板[7]及白光光源[9]組成的右麥克爾遜干涉系統(tǒng)構(gòu)成。裝有被測(cè)件[5]的測(cè)量架[11]能沿被測(cè)件光軸方向左右移動(dòng)及測(cè)量架[11]自身在基準(zhǔn)底平面上轉(zhuǎn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)光軸方向與OO軸方向平行。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量?jī)x器，其特征是，所述的指示器〔10〕可以是千分表或者是測(cè)微儀。