[其他]一種光學顯微鏡聚光照明系統

無效

• 申請號: 87202450
• 申請日: 1987-02-13
• 公開（公告）號: CN87202450U
• 公開（公告）日: 1987-12-30
• 發明（設計）人: 杜賢和;劉劍平;方仲平
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G02B21/08
• 分類號: G02B21/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種改進的光學顯微鏡聚光照明系統，能實現非相干光照明。特別適用于各種高倍光學顯微鏡。

現有的光學顯微鏡聚光照明系統由光源、光闌、聚光裝置組成。由于光源燈絲面積和聚光系統孔欄的限制，照明物面的光都是部分相干或完全相干的。這樣當微小物體經顯微物鏡放大、成象在象面上時，總有物體的衍射象產生。被觀測物體越小，放大倍數越高，衍射現象越嚴重。當觀測微米級的微小物體時，由于衍射效應，已難于看清微小物體的邊沿。而對于高倍光學測量顯微鏡，則無法正確測量。這是使用現有光學顯微鏡聚光照明系統所不可避免的缺陷。

本實用新型的目的是提供一種改進的光學顯微鏡聚光照明系統，實現非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射現象，大大提高光學顯微鏡的成象質量。

本實用新型的目的是以下列方式實現的：該光學顯微鏡聚光照明系統由光源、光闌、聚光裝置、以及在聚光裝置與物面之間的漫透射板構成。從光源發出的光經光闌和聚光裝置后，射到漫透射板上。該漫透射板具有如下特性：當光照亮該板時，它可作為一個由無數個點光源組成、光亮度極為均勻的余弦面發光體。光再從該板射出照明物體。

采用這種光學顯微鏡聚光照明系統，照明光可不受聚光照明系統孔欄和光源燈絲大小的影響，實現非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射條紋，提高象質。同時能增大顯微鏡聚光照明系統的數值孔徑、提高照明均勻度，大大有利于光學顯微鏡的調焦、觀察和測量。本實用新型制造使用方便，采用下面要詳述的實施例結構，其成本比普通的光學顯微鏡聚光照明系統幾乎沒有增加。

以下參照附圖，結合具體實施例對本實用新型作進一步詳細描述。

圖1是本實用新型用在普通顯微鏡上一種具體結構的原理剖面圖。

圖2是本實用新型用于一種線寬測量裝置上的結構原理圖。

參照圖1，本實用新型的第一個實施例是：光源1發出的光經光闌2射入聚光裝置3，光線經聚光裝置3會聚后射向漫透射板5，再經漫透射板5散射，照明顯微鏡工作臺7上的物面8，實現非相干光照明。漫透射板5用0.1－4mm厚的微晶玻璃制成，最好是0.2－0.5mm厚的微晶玻璃；本實施例中最好是采用白色微晶玻璃；也可用多塊漫透射板材料疊加而成。漫透射板5安放在聚光鏡筒4內，用壓圈6螺紋固緊。也可在光學顯微鏡上附加零件，將漫透射板5裝成在聚光裝置3與物面8之間能移入移出顯微鏡光路的獨立活動元件。漫透射板5的表面應垂直顯微鏡光軸9，聚光鏡筒4除在頂端增加安放漫透射板5的臺階10外，仍按普通光學顯微鏡聚光鏡安裝要求設計。若顯微鏡需用特定波長的光照明，則只需選用相應的光源或增加特定的濾光片。也有可能應用只透過特定波長光的微晶玻璃或具有微晶玻璃特性的其它材料制成漫透射板5。

圖2為本實用新型的第二個實施例。其原理與前面敘述的相同。光源1發出的光經第一聚光鏡11、光闌2、反光鏡13，第二聚光鏡12后，會聚射向漫透射板5，再照明顯微鏡工作臺7上的物面8，實現非相干光照明。物體由光度式光電顯微物鏡系統14放大、光電接收。該實施例的特點在于：漫透射板5安裝在顯微鏡工作臺7內，用壓圈6螺紋固緊。也可用其它安裝方法，將漫透射板5做成顯微鏡工作臺的一部分，在其上放置物體。

本實用新型還適用于所有帶有顯微物鏡儀器的顯微鏡照明使用。