[其他]薄膜厚度測量裝置無效

申請號：	87207427	申請日：	1987-07-07
公開（公告）號：	CN87207427U	公開（公告）日：	1988-04-20
發明（設計）人：	李焯;楊進城;鐘茂聲;呂文選	申請（專利權）人：	廈門大學
主分類號：	G01B15/02	分類號：	G01B15/02
代理公司：	廈門大學專利事務所	代理人：	馬應森
地址：	福建省廈***	國省代碼：	福建;35
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摘要：
搜索關鍵詞：	薄膜厚度測量裝置
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【權利要求書】：

1、微波高Q腔體微擾法測量薄膜厚度的裝置，它包括傳感器、微波源、檢測電路、脈沖形成電路、顯示電路和電源，其特征在于傳感器采用雙腔單模高QTE₀₁₁模園柱型腔體，雙腔為工作腔5和參考腔6，工作腔沿縱向中央開橫向隙縫，工作腔5分為兩個半腔5A、5B，其中5A與參考腔直接連結，5B通過良導熱體連接塊18與參考腔連接。

2、根據權利要求1和2所述的裝置，其特征是高Q腔體的工作頻率為9300MHZ。

3、根據權利要求1所述的裝置，其特征在于微波源用場效應壓控振蕩器。

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