[其他]熱陰極電離規(guī)的微機化真空計電源

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87210214
• 申請日: 1987-07-15
• 公開（公告）號: CN87210214U
• 公開（公告）日: 1988-05-18
• 發(fā)明（設計）人: 徐建民
• 申請（專利權(quán)）人: 徐建民
• 主分類號: G01L21/00
• 分類號: G01L21/00
• 代理公司: 上海專利事務所
• 代理人: 顏承根

本實用新型涉及真空測量儀表，更特別地涉及熱陰極電離規(guī)的微機化真空計電源。

熱陰極電離真空計是真空領域中應用較為普遍的一種真空測量儀表。目前國內(nèi)生產(chǎn)的這類真空計基本上還是由傳統(tǒng)的電子電路構(gòu)成，功能少，操作使用頗為不便。國外的一些產(chǎn)品例如英國Edwards公司，美國的GRANVILLE－PHILLIPS公司，日本愛年華公司和真空技術(shù)公司的產(chǎn)品已用微處理機來控制。雖然這些用微處理機控制的真空計具有數(shù)字顯示，自動測量除氣和可連接計算機等優(yōu)點，但是控制機理和電氣線路較為復雜，特別是對于不同型號的熱陰極電離規(guī)的適用性較差（一般不能直接配接國產(chǎn)電離規(guī)），這些是它們的明顯不足。

本實用新型的目的，在于提供一種用單片機或微處理機為控制核心，控制機理和電氣線路簡單，能適合多種熱陰極電離規(guī)（包括國產(chǎn)多種型號）的真空計電源，它能給出規(guī)管穩(wěn)定的發(fā)射極電壓并鑒測；給出燈絲電流；保持發(fā)射電流Ie的穩(wěn)定并鑒測；并根據(jù)測量收集極離子流I＋的大小作控制，顯示、打印等處理。

本實用新型的上述目的是通過包括下述電路的裝置來完成的，所述電路包括：受控陽極、輔助極和除氣電源電路；受控燈絲加熱及穩(wěn)發(fā)射極電流電路；程控微電流放大電路；除氣功率控制電路以及微機系統(tǒng)，見附圖1。

所述微機系統(tǒng)可按預先編制的程序來控制燈絲加熱及穩(wěn)發(fā)射、穩(wěn)陽極電壓電路；程控微電流放大電路；除氣功率控制電路的各部分工作情況。

本實用新型所述的真空計電源具有控制機理簡單，電氣線路簡單，并可配合多種熱陰極電離規(guī)工作的優(yōu)點。

下面結(jié)合附圖，對本實用新型的電路構(gòu)成作進一步說明。

圖1是本實用新型所述熱陰極電離規(guī)的微機化真空計的電源電路框圖；

圖2a、2b是本實用新型所述陰極電離規(guī)的微機化真空計電源原理電路圖。

參見附圖1，圖1是本實用新型所述的熱陰極電離規(guī)的微機化真空計的電源電路框圖，它包括真空規(guī)管，受控陽極、輔助極、除氣電源，程控微電流放大電路，除氣功率控制電路，受控燈絲加熱及穩(wěn)發(fā)射電流電路以及對上述各電路進行控制的微機系統(tǒng)，所述的程控微電流放大電路連接在微機系統(tǒng)和規(guī)管的收集極之間，微機能對其放大倍數(shù)進行控制并且該放大電路的輸出信號能反饋給微機。同理，微機系統(tǒng)可以直接控制受控燈絲加熱及穩(wěn)發(fā)射電流電路，還可以控制除氣功率控制電路，從而進一步控制受控燈絲加熱及穩(wěn)發(fā)射電流電路。所述的微機系統(tǒng)可直接控制受控陽極、輔助極，除氣電源的接通。

參見附圖2a、2b規(guī)管一般是由燈絲（陰極），加速極（陽極）和收集極三部分組成。加熱燈絲發(fā)射電子，電子在向比陰極電位高的加速極運動過程中，與氣體分子碰撞，而使氣體分子電離，電離后的正離子被比陰極電位低的收集極所吸收，在規(guī)定的壓強測量范圍內(nèi)，離子流與被測壓強近似成正比，如下式圖示：

I1＝S·Ie·P

其中I1為離子流；S為規(guī)管靈敏度，Ie為發(fā)射電流，P為規(guī)管內(nèi)部壓強。

當發(fā)射電流Ie保持恒定的條件下，可由離子流I1直接得出內(nèi)部壓強P。

本實用新型所述的受控陽極、輔助極和除氣電源是由電源E1和E2；C1，C2，C3；電阻R6，R20，W1；穩(wěn)壓管BG1；2H型繼電器K11，1Z型繼電器K12組成。當接通儀器電源后，得到直流E1和E2。此時可由計算機控制繼電器K11的a刀合上，b刀打開，繼電器K12刀打向1端，工作電壓加到了規(guī)管（17）的加速極上。