[其他]抗磁場干擾的橫向電壓型壓力傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87211315
• 申請日: 1987-10-22
• 公開（公告）號: CN87211315U
• 公開（公告）日: 1988-07-27
• 發(fā)明（設計）人: 鮑敏杭;齊薇佳;于連忠
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: G01L1/00
• 分類號: G01L1/00
• 代理公司: 復旦大學專利事務所
• 代理人: 陸飛,滕懷流

1、一種由兩個四端半導體電阻器構成的消磁敏橫向電壓型壓力傳感器，其特征為兩個四端電阻器的尺寸相同、位置和取向角不同，兩個輸出霍爾電壓極性相同的兩個電極相短接，其余兩個輸出端作為輸出。

2、根據(jù)權利要求1的消磁敏壓力傳感器，其特征在于兩個四端電阻器的位置和取向角根據(jù)不同晶向和形狀的硅膜上應力分布規(guī)律設計：

（1）對（001）方形硅膜，兩個四端電阻器位于膜邊中點附近，關于x軸對稱，都與膜邊成45°角。

（2）對（001）長方形硅膜，有兩種設計：①兩個四端電阻器位于膜長邊中點附近，關于x軸對稱，且與膜邊夾45°角。②兩個四端電阻器位于膜中心區(qū)域，在y軸上，關于x軸對稱，與膜邊夾45°角。

（3）對（001）園膜，兩個四端電阻器對稱地位于與〔100〕和〔010〕都成45°夾角的半徑兩側，互相垂直，并靠近園膜的邊緣。