[其他]對稱型霍爾器件

無效

• 申請號: 87215461
• 申請日: 1987-11-14
• 公開（公告）號: CN87215461U
• 公開（公告）日: 1988-12-14
• 發明（設計）人: 付∴;王林海;袁炳輝
• 申請（專利權）人: 河北工學院
• 主分類號: H01L43/06
• 分類號: H01L43/06
• 代理公司: 天津市專利事務所
• 代理人: 楊忠民,李國茹

該實用新型屬于電子元器件。

目前國內外霍爾器件主要采用菱形和十字形結構。這兩種結構的霍爾器件都存在著不同程度的缺點：菱形結構的雖然不等位電勢小，但霍爾輸出低、線性度差；十字形結構的不等位電勢較大，線性度較差，因而使得霍爾器件的靈敏度較差。

該實用新型的目的在于避免上述現有技術中的不足之處，而提供一種霍爾輸出高，不等位電勢小、線性度好、靈敏度好的對稱型霍爾器件。

該實用新型的目的可以通過以下措施來達到：對稱型霍爾器件采用十字形結構，在控制電流極上開有兩個對稱的槽，槽寬S大于5微米，小于 60微米；十字交叉處的四個角是圓弧形的倒角，倒角直徑φ大于 1/10 （元件輸出長a－本體寬H）微米，小于 2/3 （a－H）微米。四個定位電極亦呈圓弧形。

對稱型霍爾器件示意圖如圖1所示；圖中1、2端為控制電流極，3、4端為霍爾電極，5為槽，6為倒角，7為定位電極，a為元件輸出長，b為元件輸入長，H為本體寬，S為槽寬。

下面結合實施例作進一步詳細說明：

實施例1

采用砷化鎵半導體材料作霍爾片〔（100）晶向〕，元件輸出長a＝540微米，輸入長b＝480微米，本體寬H＝180微米，霍爾片厚為10微米，槽寬S＝40微米，十字交叉處倒角直徑φ＝55微米，定位電極為半圓形，測試結果如表中對稱型1。

實施例2

采用砷化鎵半導體材料作霍爾片〔（100）晶向〕，元件輸出長a＝540微米，元件輸入長b＝480微米，本體寬H＝180微米霍爾片厚為10微米，槽寬S＝30微米，十字交叉處倒角直徑φ＝75微米，定位電極為半圓形，測試結果如表中對稱型2。

砷化鎵霍爾器件參數比較

項目型號靈敏度mv/0.1T不等位電勢mv電線性度%磁性性度%對稱型11.94×106.56×10^-12.1×10^-12.1×10^-1對稱型22.34×101.20×10^-14.2×10^-10.0十字型11.20×108.60×10^-14.5×10^-14.2×10^-1十字型21.15×107.43×10^-18.1×10^-11.6×10^-1