[其他]彩色顯象管熒光屏的形成方法和光刻膠的組合物

無效

• 申請號: 88100287
• 申請日: 1988-01-22
• 公開（公告）號: CN88100287A
• 公開（公告）日: 1988-08-17
• 發明（設計）人: 小池教雄
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: H01J9/227
• 分類號: H01J9/227
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 馮賡瑄

本發明涉及到彩色顯象管，更精確地說，涉及高清晰度熒光屏的形成方法和在本方法中使用的在低照度曝光下具有改進了靈敏度和分辨率的光刻膠的組合物（composition）。

通常，彩色顯象管的熒光屏具有包含著能發紅、綠、蘭的圓點或條帶的多個熒光膜層和在這些熒光膜層間的光吸收層。

這些光吸收層的圖案，一般是通過以下方法形成的：首先，在顯象管面屏的內表面薄薄地涂一層光敏樹脂液體，然后該涂層被干燥成為一層樹脂膜;接著，樹脂膜通過有多個小圓孔或小方孔的投影掩膜（Shadow????mask），用一個點光源或線光源曝光。樹脂膜曝光的部分被光硬化成不可溶光刻膠層，而未曝光部分則未被光硬化。為在樹脂膜上產生近似與彩色顯象管電子槍的電子束軌跡位置相符的光軌跡，光源被設置在相應于該電子槍的偏轉中心的位置，并且在光源和投影掩膜間有一個通常是玻璃或透明塑料制成的校正透鏡。

這以后，樹脂膜用一個溫水噴槍沖洗。未曝光的樹脂膜被噴洗沖去，而面屏的內表面的相應部分就顯現出來。

在這個條件下，一種含有吸收光的黑色材料（例如石墨）的粘合劑（S|urry）被涂在面屏的內表面上。然后，干燥此粘合劑形成一個光吸收膜。接著，使該膜與一種剝落劑接觸。這時，由于剝落劑的作用，光硬化樹脂膨脹并變脆。然后，當作了另一次溫水噴洗處理后，脆的樹脂膜及在它上面的光吸收膜被除去，這些部分面屏內表面被顯現出來，而復有光吸收膜的其它部分依然如故。這樣，就形成了一種斑點化或條帶化的黑色矩陣（black????matrix）。

近年來，彩色顯象管除了傳統的用于電視機中以外，迅速地擴展到包括辦公室自動化（OA）設備的終端，例如微形計算機。與過去相比，在這些應用中要求高清晰度的熒光屏。真正尺度（actual????dimensions）變化依賴于彩色顯象管的大小。例如，對一個14英寸的屏幕，過去象素（hall）間距（相鄰圓點間的距離）為0.6毫米，而現在對高清晰度屏幕為0.2毫米，尺度的精細要求提高了三倍。為滿足這個要求，使用了如在美國專利第3917794號中披露的一種光刻膠合成物，它含有4，4′-雙疊氮芪-2，2′-二磺酸的鈉鹽（sodium????salt????of????4.4′-bisazidestilbene-2.2′-disulphonic????acid），聚乙烯吡咯烷酮（polyvinylpyrrolidone）和作為粘合加速劑（耦合劑）的N-β（氨乙基）γ-氨丙基三甲氧基硅烷（N-β（aminoethyl）γ-aminopropyltrimethoxysilane）。

另一方面，在制造這種高清晰度熒光屏時，因為要適合這種較高清晰度，用光源從小直徑窗口射出的光，讓光刻膠通過小孔徑投影掩膜曝光，因此對光刻膠表面的照度就大大減低。對上述14英寸屏幕彩色顯象管的情況，若使用同樣的1千瓦光源，光刻膠表面處的照度將減弱到不到通常情況下照度的10%。例如，對小孔間距為0.6毫米的通常的熒光屏，光刻膠膜表面處曝光照度為1.7毫瓦/平方厘米，而對小孔間距為0.2毫米的高分辨率熒光屏，光刻膠膜表面的曝光照度為0.13毫瓦/平方厘米。這樣，假如為得到同樣的曝光量，把曝光時間比通常的處理增加十倍，人們才可能期望得到同樣形狀的圖案。但實際上，即使通過增加曝光時間達到更多的曝光，硬化的光刻膠的厚度并不增加;因此，就存在不能得到所要求的小點的尺寸的問題。雖然這個現象的原因尚未弄清楚，通常假定光敏樹脂的倒易律（reciprocity????law）失效現象是與樹脂膜和面屏內表面間的緊密接觸錯綜相關的。

盡管如此，用通常辦法精確地形成高清晰度的黑色矩陣圖案仍是困難的，而且這些光敏樹脂的靈敏度和分辨率也不足以形成高清晰度的屏幕。

本發明的一個目的是提供一種形成高清晰度的黑色矩陣圖案的方法，并提供一種形成高清晰度黑色矩陣圖案的最佳光刻膠組合物。

因此，本發明提供了一種形成彩色顯象管熒光屏的方法，它包括下述步驟：在面屏的內表面上形成一層光刻膠膜，用光源通過有多個小孔的投影掩膜的光使光刻膠膜曝光，在光刻膠膜上形成一層光吸收膜，用剝落劑除去曝光的硬化光刻膠膜及在其上的光吸收膜。光刻膠膜由重氮基二苯胺（diazodiphenylamine）的甲醛縮合產物的至少一種磷酸鹽、2.5-雙（4′-疊氮-2′-硫代亞芐基）環戊酮（2.5-bis（4′-azide-2′-sulphobenzilidene）cyclopentanone）和它的鹽、聚乙烯醇（polyvinylalcohol）和聚乙烯吡咯烷酮組成。