[其他]形成超導薄膜的方法及設備無效
| 申請號： | 88103399 | 申請日： | 1988-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN88103399A | 公開（公告）日： | 1988-12-21 |
| 發明（設計）人： | 福井慶太郎;中村修;岡山泰;角田淳 | 申請（專利權）人： | 東亞燃料工業株式會社 |
| 主分類號： | H01B12/06 | 分類號： | H01B12/06 |
| 代理公司： | 上海專利事務所 | 代理人： | 顏承根 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 形成 超導 薄膜 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
1、一種用于形成含復合金屬氧化物的超導薄膜的方法，其特征在于，它包括用一個超聲波噴霧器，把含有一種或多種作為溶質的、能形成超導體的金屬化合物的單一溶液或多種溶液加以霧化并噴灑到熱載體上，以形成所述薄膜。
2、如權利要求1所述的方法，其特征在于，其中載體被加熱到200到950℃的溫度。
3、如權利要求1所述的方法，其特征在于，載體呈平板狀或線狀。
4、用于形成含有復合金屬氧化物的超導薄膜的一種設備，其特征在于，它包括一種超聲波噴霧器，該超聲波噴霧器包括一個超聲波發生振蕩器、原料輸送器、霧化溶液防散逸器、載體底座和加熱器，所述超聲波發生振蕩器通過一根軸連接到一只溶液霧化噴嘴。
5、如權利要求4所述的一種設備，其特征在于，所述溶液霧化噴嘴有一個多階有棱部件、圓錐形有棱部件或喇叭形有棱部件。
6、如權利要求4所述的一種設備，其特征在于，所述超聲波噴霧器進一步還包括一個把霧化溶液攜帶到載體上的攜載氣體的輸送器。
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