[其他]新型水平滑動石墨舟

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 88201086
• 申請日: 1988-02-05
• 公開（公告）號: CN88201086U
• 公開（公告）日: 1988-08-24
• 發(fā)明（設計）人: 孫成城;薛保興;何淑芳
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01L21/208
• 分類號: H01L21/208;C30B19/00;C30B35/00
• 代理公司: 清華大學專利事務所
• 代理人: 廖元秋,胡蘭芝

1、一種用于液相外延的水平滑動石墨舟，由舟體[4]、襯底托板[5]、滑動溶液池板[6]及溶池蓋[7]所組成，其特征在于滑動溶液池板上有多個溶液池[8]，其水平截面的內(nèi)邊界是園形，園形直徑d由公式m= (πd＇³)/6 D求d′，使d=d′，式中m為溶液池溶劑的質(zhì)量，D為溶劑的比重，d′為熔劑呈球狀時的直徑。

2、如權利要求1中所述水平滑動石墨舟，其特征在于所說溶液池板上有5個園柱形溶液池，池內(nèi)徑為0.7Cm左右，但不能超過0.8Cm。