[其他]掃描式投影光刻機物鏡在審
| 申請號： | 101985000004369 | 申請日： | 1985-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN85104369B | 公開（公告）日： | 1988-06-29 |
| 發明（設計）人： | 王之江 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 上海82*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： |
一種用于掃描式投影光刻機的物鏡，由球面全反射鏡、球面副反射鏡和一球殼形校正透鏡組成，該物鏡的環帶視場狹縫達１０ｍｍ，適用于３６００ |
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| 搜索關鍵詞： | 掃描 投影 光刻 物鏡 | ||
【主權項】：
暫無信息
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