[其他]測量固體表面速度變化的光干涉儀在審
| 申請號: | 101985000004475 | 申請日: | 1985-06-07 |
| 公開(公告)號: | CN85104475B | 公開(公告)日: | 1988-09-21 |
| 發明(設計)人: | 張仲先 | 申請(專利權)人: | 浙江大學 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 浙江大學專利代理事務所 | 代理人: | 陳禎祥 |
| 地址: | 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 一種測量固體表面速度變化的光干涉儀。儀器中設置兩條長短不同的光路系統,光源發出的光分別經過它們,以時間差τ值先后射到被測表面,當它們從表面返回干涉系統時,應用光的偏振特性,使之各自經過與入射光路長短相反的路徑到達光電探測器,于是消除時間差τ而實現等光程干涉,干涉條紋的變化正比于表面速度的變化。測速變化范圍3m/s-1000m/s,本發明具有量程大,成本低,使用方便的優點。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 測量 固體 表面 速度 變化 干涉儀 | ||
【主權項】:
暫無信息
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