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[其他]測量固體表面速度變化的光干涉儀在審

專利信息
申請號: 101985000004475 申請日: 1985-06-07
公開(公告)號: CN85104475B 公開(公告)日: 1988-09-21
發明(設計)人: 張仲先 申請(專利權)人: 浙江大學
主分類號: 分類號:
代理公司: 浙江大學專利代理事務所 代理人: 陳禎祥
地址: 浙江省杭*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種測量固體表面速度變化的光干涉儀。儀器中設置兩條長短不同的光路系統,光源發出的光分別經過它們,以時間差τ值先后射到被測表面,當它們從表面返回干涉系統時,應用光的偏振特性,使之各自經過與入射光路長短相反的路徑到達光電探測器,于是消除時間差τ而實現等光程干涉,干涉條紋的變化正比于表面速度的變化。測速變化范圍3m/s-1000m/s,本發明具有量程大,成本低,使用方便的優點。
搜索關鍵詞: 測量 固體 表面 速度 變化 干涉儀
【主權項】:
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