[其他]高流量多級盤形分子泵在審
| 申請號: | 101985000005304 | 申請日: | 1985-07-06 |
| 公開(公告)號: | CN85105304B | 公開(公告)日: | 1988-09-14 |
| 發明(設計)人: | 儲繼國;孫云龍;徐禮霸 | 申請(專利權)人: | 復旦大學 |
| 主分類號: | 分類號: | ||
| 代理公司: | 上海正旦專利代理有限公司 | 代理人: | 陸飛 |
| 地址: | 上海市邯鄲*** | 國省代碼: | 上海;31 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: |
本發明屬于高轉速機械真空泵,例如分子泵。它提出了一種多級盤形分子泵的新的串聯工作模式。其螺線槽采用對數形式:R |
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| 搜索關鍵詞: | 流量 多級 分子 | ||
【主權項】:
暫無信息
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