[其他]真空設備在審
| 申請號： | 101985000006797 | 申請日： | 1985-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN1005642B | 公開（公告）日： | 1989-11-01 |
| 發明（設計）人： | 西格弗里德·舒恩瓦爾德;諾伯特·施米德;漢斯·喬治·特羅揚 | 申請（專利權）人： | 西門子公司 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 曹永來;李曉舒 |
| 地址： | 聯邦德國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 本發明涉及一個真空設備，它有一個由電動機驅動的，并使用輔助液體工作的真空泵。真空泵（２）與一個裝有儲存室的、并用來把被輸送的氣體從輔助液體中分離出來的粗分離器（７）相連。輔助液體（３３）流出儲存室后經過液體冷卻器（２３）再重新輸到真空泵（２）中，而載有殘余輔助液體（３３）的氣體則被送到一個裝在粗分離器（７）后面的細分離器（１９）中。從細分離器（１９）分離出來的輔助液體（３３）由裝在細分離器（１９）上的一根返回管（２７）輸送。改善輔助液體從氣體中分離情況的途徑如下：粗分離器（７）和細分離器（１９）結構上分開安裝，載有殘余輔助液體（３３）的氣體經過氣體冷卻器（１３）被送至細分離器（１９），氣體冷卻器（１３）和液體冷卻器（２３）也是分開來安裝的。這兩個冷卻器的尺寸大小，應能保證氣體的冷卻溫度遠遠低于輔助液體（３３）的排出溫度。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 真空設備 | ||
【主權項】：
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