[其他]斜行光干涉儀伸縮計(jì)量方法及裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 101986000004916 | 申請(qǐng)日： | 1986-08-08 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1005648B | 公開(kāi)（公告）日： | 1989-11-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李志超;黃文浩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | 分類(lèi)號(hào)： | ||
| 代理公司： | 中國(guó)科學(xué)院合肥專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人： | 趙烏蘭 |
| 地址： | 安徽省合肥市*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種斜行光干涉儀伸縮計(jì)量方法及裝置。屬于長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明方法采用二支或二支以上光束，利用不同行進(jìn)方向光束的干涉光極大值間距對(duì)應(yīng)于不同伸縮位移量間的關(guān)系，求出待測(cè)量值。本發(fā)明裝置采用普通非穩(wěn)頻激光器和簡(jiǎn)單法布里·白洛干涉儀，通過(guò)干涉儀、分束鏡和反射鏡的放置，以及測(cè)出干涉光極大值對(duì)應(yīng)的壓電陶瓷電壓值，實(shí)現(xiàn)上述方法。本發(fā)明可使量程達(dá)５０λ以上，具有埃量級(jí)的分辨力。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 斜行光 干涉儀 伸縮 計(jì)量 方法 裝置 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
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