[其他]半導體發光器件的反射腔及其工藝無效
| 申請號: | 85100503 | 申請日: | 1985-04-01 |
| 公開(公告)號: | CN85100503A | 公開(公告)日: | 1986-09-17 |
| 發明(設計)人: | 孫體忠 | 申請(專利權)人: | 中國科學院上海冶金研究所 |
| 主分類號: | H01L33/00 | 分類號: | H01L33/00 |
| 代理公司: | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人: | 季良赳 |
| 地址: | 上海市長寧*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本發明是半導體發光器件的反射腔及其工藝,屬于半導體光電器件,特別是半導體發光器件的領域,它是利用單晶硅的各向異性腐蝕特性在單晶硅的(100)晶面上形成各種立方或長方錐形反射腔,再鍍上一層金屬(如Au,Ag或Al等)作為金屬鏡面,從而可制得各種LED指示燈,數碼管,5×7字符顯示或LED列陣等。本發明的反射腔工藝與通常的半導體器件工藝相容,用這種反射腔制得的LED器件,可使輸出光強增加,提高發光效率。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 發光 器件 反射 及其 工藝 | ||
【主權項】:
1、一種半導體發光器件的反射腔的制作工藝,其特征是在硅單晶片上生長腐蝕保護層后經光刻、腐蝕,鍍上反光層而形成的。
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