[其他]渦輪分子泵無效

申請?zhí)枺?/td>	85101627	申請日：	1985-04-01
公開（公告）號：	CN85101627A	公開（公告）日：	1987-03-25
發(fā)明（設計）人：	成田清;川口壽一	申請（專利權）人：	株式會社島津制作所
主分類號：	F04D19/04	分類號：	F04D19/04
代理公司：	中國專利代理有限公司	代理人：	曹永來
地址：	日本京都***	國省代碼：	暫無信息
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：	轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動進行抽氣的渦輪分子泵，有一組由互相交替排列的轉(zhuǎn)子組成的葉片和定子葉片，在所述的排氣口側(cè)或中間部分的葉片組中有壓縮比增大的部位。壓縮比增大部位有一個轉(zhuǎn)子，其葉片厚度大于更接近吸氣口側(cè)的轉(zhuǎn)子。這種渦輪分子泵有低真空度階段的優(yōu)良的抽氣效率。
搜索關鍵詞：	渦輪分子
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【主權項】：

1、轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動進行抽氣的渦輪分子泵，其特征是，該泵有一組由互相交替排列的轉(zhuǎn)子和定子葉片組成的葉片組，在所述的葉片組中有壓縮比增大的部位位于排氣口側(cè)的一分部，所述的壓縮比增大部位至少有一個轉(zhuǎn)子，其厚度大于比其更接近于吸氣口側(cè)的至少是一個的轉(zhuǎn)子的厚度。

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