[其他]監控光學鍍膜厚度的雙光束光學系統無效
| 申請號： | 85101725 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN85101725B | 公開（公告）日： | 1987-10-07 |
| 發明（設計）人： | 王占青 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中國科學院長春專利事務所 | 代理人： | 劉樹清 |
| 地址： | 吉林省長*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 監控光學鍍膜厚度的雙光束光學系統形式上和已有的透射式單光束光學系統相同，差別是在角可變濾光片(或單色儀出狹縫)之后置一塊等雙孔光欄，分單束光為參考和測量兩束光，再用雙排孔調制扇分別調制這兩束光，使測量光束通過監控片，使參考光束從監控片旁邊通過，于是構成全對稱透射式雙光束光學系統。它使電子學系統容易解決基線平直度、漂移、噪聲、雜光信號和電磁場信號干擾，以致于真空室窗口濺射膜的影響都可以完全消除。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 監控 光學 鍍膜 厚度 光束 光學系統 | ||
【主權項】：
1.一種監控光學鍍膜厚度的雙光束光學系統，由光源、雙孔光欄、調制器、透鏡、監控片及接收器組成，其特征是：調制器為雙排孔調制扇〔5〕，在光源〔2〕與等雙孔光欄〔4〕之間置有角可變濾光片〔3〕，雙排孔調制扇〔5〕、透鏡〔6〕、監控片〔8〕及接收器〔10〕與光軸垂直依次置于等雙孔光欄〔4〕之后，監控片〔8〕置于真空室中，與等雙孔光欄〔4〕中通過測量光束的孔處在透鏡〔6〕的共軛像面位置上。
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