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[其他]對模糊現象不敏感的圖象傳感器及其制造方法無效

專利信息
申請號: 85101868 申請日: 1985-04-01
公開(公告)號: CN85101868B 公開(公告)日: 1988-08-10
發明(設計)人: 鮑德金斯 申請(專利權)人: 菲利普光燈制造廠
主分類號: H01L29/76 分類號: H01L29/76;H01L21/02
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 許新根
地址: 荷蘭艾*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 圖象傳感器由一具有很多連接表面溝道的半導體襯底組成,溝道區由連接表面的溝道隔離區相互分開,而且進一步和相對表面平行延伸的半導體區相接。溝道區的摻雜濃度超過半導體區的摻雜濃度,而半導體區本身的摻雜濃度超過半導體襯底的摻雜濃度,半導體區的厚度在溝道區中心處有一個最小值。在這樣的圖象傳感器中,在垂直表面的方向上可以實現電勢變化,從而可強烈抑制“模糊”現象的產生。本發明也涉及這個圖象傳感器的制造方法。
搜索關鍵詞: 模糊 現象 敏感 圖象 傳感器 及其 制造 方法
【主權項】:
1.圖象傳感器是由第一導電型半導體襯底組成,襯底上有許多第一導電型連接表面的溝道區域,這些溝道區與襯底表面上的電極系統相垂直,工作時,在溝道區域中收集和傳輸電荷,這些溝道區由第二導電型連接表面的溝道隔離區相互分開,并且進一步和相對表面平行延伸的第二導電型半導體區相連接,其特征是:溝道區摻雜濃度超過半導體區的摻雜濃度,而半導體區本身的摻雜濃度又超過半導體襯底的摻雜濃度,半導體區的厚度沿溝道區垂直方向變化,在溝道中心達到最小值。
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