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[其他]半導體裝置的導線材料無效

專利信息
申請號: 85103501 申請日: 1985-05-03
公開(公告)號: CN1003065B 公開(公告)日: 1989-01-11
發明(設計)人: 官藤元久;松井隆;田英和 申請(專利權)人: 株式會社神戶制鋼所
主分類號: H01L21/60 分類號: H01L21/60;H01L23/48;C22C5/02
代理公司: 中國專利代理有限公司 代理人: 羅宏,劉元金
地址: 日本兵庫縣神戶*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種用于半導體裝置的導線材料,組成的物質按重量計包括Ni0.4至4.0%、Si0.1至1.0%、Zn0.05%至1.0%、Mn0.01至1.0%、Mg0.001至0.01%以下、Cr0.001至0.01%以下、S最多高達0.003%、余下的是Cu和不可避免的雜質。此外,這導線材料還可含有高達5ppm的氧及高達5ppm的氫。
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 導線 材料
【主權項】:
1.一種用于半導體裝置的導線材料,其特征在于按重量計包括Ni0.4至4.0%、Si0.1至1.0%、Zn0.05至1.0%、Mn0.01至1.0%、Mg0.001至0.01%以下、Cr0.001至0.01%以下,S最多可達0.003%,余下的是Cu和不可避免的雜質,該導線材料還包括高達5ppm的氫及高達5ppm的氧。
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