【主權(quán)項(xiàng)】：

1.在充分均勻的第一材料層上形成至少一個(gè)窄溝槽的方法，其中的溝槽寬度由自對(duì)準(zhǔn)方式?jīng)Q定，本方法的特征在于，在襯底區(qū)的主表面上提供一個(gè)第一掩模層，該掩模層至少有一個(gè)窗口或凹槽，至少在窗口區(qū)處以及在鄰接的掩模層上面涂上一層充分均勻的第一材料，該材料層在窗口區(qū)處有一個(gè)凹槽，同時(shí)在第一材料層的上面接著覆蓋一層充分均勻的第二掩模材料層以及充分均勻的第一轉(zhuǎn)化層，在第一掩模層的初始窗口內(nèi)的第二掩模層和第一轉(zhuǎn)化層里保留一個(gè)凹槽，對(duì)第一可轉(zhuǎn)化材料層進(jìn)行有選擇的轉(zhuǎn)化處理從而生成中間掩模，用這種方法至少沿著第二掩模材料層凹槽的內(nèi)沿形成一個(gè)窗口，此后用在第二掩模材料層里形成的掩模，在第一材料層中得到溝槽，所述對(duì)第一可轉(zhuǎn)化材料層進(jìn)行有選擇的轉(zhuǎn)化處理，包括該第一可轉(zhuǎn)化層被一層充分均勻的第三層掩模材料所覆蓋，將該層進(jìn)行有選擇的腐蝕處理，使得至少沿第一可轉(zhuǎn)化層里凹槽的內(nèi)沿的第三掩模層被保留下來(lái)，它能保護(hù)第一可轉(zhuǎn)化層不被轉(zhuǎn)化。