[其他]測量固體表面速度變化的光干涉儀無效
| 申請號: | 85104475 | 申請日: | 1985-06-07 |
| 公開(公告)號: | CN85104475B | 公開(公告)日: | 1988-09-21 |
| 發明(設計)人: | 張仲先 | 申請(專利權)人: | 浙江大學 |
| 主分類號: | G01S17/58 | 分類號: | G01S17/58 |
| 代理公司: | 浙江大學專利代理事務所 | 代理人: | 陳禎祥 |
| 地址: | 浙江省杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 一種測量固體表面速度變化的光干涉儀。儀器中設置兩條長短不同的光路系統,光源發出的光分別經過它們,以時間差τ值先后射到被測表面,當它們從表面返回干涉系統時,應用光的偏振特性,使之各自經過與入射光路長短相反的路徑到達光電探測器,于是消除時間差τ而實現等光程干涉,干涉條紋的變化正比于表面速度的變化。測速變化范圍3m/s-1000m/s,本發明具有量程大,成本低,使用方便的優點。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 測量 固體 表面 速度 變化 干涉儀 | ||
【主權項】:
1.一種測量固體最面速度變化的光干涉儀,由光源、起偏振器、干涉系統、光電探測器及信號檢測系統所組成,本發明特征是從光源〔1〕發出的光,經干涉系統〔3〕分成兩束,它們分別經長光路系統和短光路系統,並先后到達固體表面〔5〕,其間具有可視為固定的時間差值τ,此兩束光從表面〔5〕反射回干涉系統時,各自經過與入射光路長短相反的光路系統並到達光電探測器〔8〕。
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