[其他]端型多層干涉濾光器的制作方法無效
| 申請號： | 85106301 | 申請日： | 1985-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN85106301B | 公開（公告）日： | 1988-12-21 |
| 發明（設計）人： | 山岸豐;石田正彥 | 申請（專利權）人： | 株式會社堀場制作所 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;G02B1/10;G02B5/28 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 李強 |
| 地址： | 日本京都府*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 本發明涉及端形多層干涉濾光器，本發明的目的是盡可能地控制多層膜發生在其切割邊緣的分離，從而改進產品。在本發明中，設置有具有所需要尺寸的窗口的掩膜被固定在襯底上，以使蒸發鍍敷材料不能附著到要切割的襯底部分上。根據本發明的端型多層干涉濾光器可用于檢測器，例如紅外分析儀的檢測器。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 多層 干涉 濾光 制作方法 | ||
【主權項】：
1.端型多層干涉濾光器的制作方法，其特征在于該端型多層濾光器是通過在阻止蒸發鍍敷材料被鍍敷在將要進行切割的襯底部分上的條件下，用真空蒸發法，把高折射率材料和低折射率材料交替地鍍敷在與多個具有所需要尺寸的窗口相對應的襯底部分上而制作出來的，上述窗口被設置在固定地設置于襯底之上的掩膜上。
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