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[其他]半導體器件的制造方法無效

專利信息
申請號: 85106463 申請日: 1985-08-28
公開(公告)號: CN85106463B 公開(公告)日: 1987-07-15
發明(設計)人: 木山精一;今井秀記 申請(專利權)人: 三洋電機株式會社
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18;H01L31/06
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部 代理人: 劉暉
地址: 日本大阪府守*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發明涉及一種具有很多光電轉換區的半導體器件的制造方法,該方法包括下列各步驟準備好一個基片,在上述基片的一側主表面上連續地形成一層半導體薄膜,再用能量束,例如用激光束,從上述基片的另一側主表面進行照射,并去除該部位的半導體薄膜,從而把上述半導體薄膜分隔成各個區域。
搜索關鍵詞: 半導體器件 制造 方法
【主權項】:
1.一種制造半導體器件的方法,包括下列步驟:準備一個基片;在上述基片一主表面側上連續地形成一層半導體薄膜;用能量束照射上述半導體薄膜,并去掉被照射部位上的半導體薄膜,從而把上述半導體薄膜分隔成若干個區域;其特征在于:上述基片為透光基片,上述能量束為激光束,此激光束是從上述基片的另一主表面側照射的。
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