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[其他]具有高擊穿電壓的半導(dǎo)體器件無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 85106895 申請日: 1985-09-14
公開(公告)號(hào): CN85106895B 公開(公告)日: 1988-09-07
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 江本孝朗;鹽見武夫 申請(專利權(quán))人: 株式會(huì)社東芝
主分類號(hào): H01L29/06 分類號(hào): H01L29/06;H01L29/72;H01L29/91
代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利代理部 代理人: 劉暉
地址: 日本神奈*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 發(fā)明涉及到高擊穿電壓半導(dǎo)體器件,而且是與半導(dǎo)體襯底有相同電導(dǎo)型的高摻雜雜質(zhì)區(qū)形成在一起的半導(dǎo)體器件,其中,在半導(dǎo)體襯底的背面,第一雜質(zhì)區(qū)的對面,規(guī)定好的部位上注入高摻雜雜質(zhì),并形成高摻雜雜質(zhì)區(qū),在與第一雜質(zhì)區(qū)相同的中心部位上其注入寬度為T,并且滿足t1≤T≤t1+2Wo,其中t1是第一雜質(zhì)區(qū)的寬度,Wo是第一雜質(zhì)區(qū)和高摻雜雜質(zhì)區(qū)之間沿深度方向的間隔。
搜索關(guān)鍵詞: 具有 擊穿 電壓 半導(dǎo)體器件
【主權(quán)項(xiàng)】:
1.一種具有高擊穿電壓的半導(dǎo)體器件制有:第一電導(dǎo)類型的半導(dǎo)體襯底10;在第一電導(dǎo)類型的半導(dǎo)體襯底10的規(guī)定區(qū)域中形成的一層第二電導(dǎo)類型的第一雜質(zhì)區(qū)12,并與上述襯底之間形成個(gè)側(cè)面;在與上述第一雜質(zhì)區(qū)12相對的上述半導(dǎo)體襯底的背面區(qū)域中,以規(guī)定量進(jìn)行注入,形成的第一電導(dǎo)類型的一層第一高摻雜雜質(zhì)區(qū)16;用第二電導(dǎo)類型的保護(hù)環(huán)區(qū)或用阻性電場板極(127)環(huán)繞上述第一雜質(zhì)區(qū)12;其特征在于:形成的注入?yún)^(qū)16比上述第一雜質(zhì)區(qū)12寬,與上述第一雜質(zhì)區(qū)的周圍側(cè)面相比,上述注入?yún)^(qū)16擴(kuò)大不大于Wo;Wo是上述第一雜質(zhì)區(qū)12和上述第一高摻雜雜質(zhì)區(qū)16之間沿其深度方向的間隔。
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