[其他]鍺酸鉍(BGO)單晶的表面拋光劑無效
| 申請號： | 86100517 | 申請日： | 1986-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN86100517B | 公開（公告）日： | 1988-03-02 |
| 發明（設計）人： | 徐潤元 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C09G1/00;C09K3/14;B24B1/00 |
| 代理公司： | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人： | 聶淑儀,潘振蘇 |
| 地址： | 上海市長寧*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | 采用α-Al2O3〔精磨用粒度范圍是5＜d＜25(微米)；拋光用粒度范圍是1＜d＜5(微米)〕。為拋光磨料，0.5～20％(體積)丙三醇作為潤滑劑，合成樹脂拋光布作為拋光膜，以及水為載液，并按0.5～2公斤磨料(經預處理的)加1～30升水，配成的拋光劑，用于BGO大單晶體的拋光，達到了優質(粗糙度分別達到Ra≤0.45，Ra≤0.03微米)、高效、低耗和無毒的效果。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 鍺酸鉍 bgo 表面 拋光 | ||
【主權項】：
1.一種適合于BGO單晶體的表面拋光劑，其特征在于：a.所使用的拋光磨料(a-Al2O3)的粒度范圍是：精磨5＜d＜25微米；拋光1＜d＜5微米。b.拋光劑的組成及配比范圍是：磨料a-Al2O30.5～2公斤(經預處理)潤滑劑丙三醇0.5～20％(體積)(按載液體積計算)載液水1～30升c.與拋光劑匹配的拋光膜是通常用于半導體硅單晶拋光用的合成樹脂拋光布。
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